中古 HITACHI / KOKUSAI DD-802V-H #9226001 を販売中

HITACHI / KOKUSAI DD-802V-H
ID: 9226001
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1992
Vertical furnaces, 6" 1992 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-802V-Hは、エレクトロニクス業界のさまざまな用途に使用されるように設計された拡散炉およびアクセサリーです。本装置は、物理蒸着前の高温化学蒸着、高温フォトニック硬化、プリアニーリングに使用されます。拡散炉は、マイクロプロセッサ制御のマルチパラメータプログラミングシステムによって操作され、使いやすいインターフェースを備えています。このユニットを使用すると、最大36種類のプロセスレシピを保存できるため、各プロセスを再プログラムする必要なく、さまざまなプロセスを迅速かつ正確に実行できます。HRF-802V-Hの部屋は最高の温度の均等性および柔軟性を保障するために熱waltered部屋はさみ金が付いている高温抵抗力がある、ステンレス鋼の組み立てられます。垂直リフトドアは基板の容易なアライメントを可能にし、サイドオープニングチャンバーの設計はより均一な温度制御を提供します。炉の温度範囲は500〜1100°Cで、半定常フロントローダーとリアアンローディングドアがあります。るつぼは高温プロセス用に設計されており、2層グラファイト絶縁機を含むオールステンレス鋼構造で作られています。プレートタイプの電気発熱体は、プロセス媒体を要素から遠ざけるためにシールドされています。オプションのオールセラミックパドルにより、処理中のメディア転送を制御できます。オプションのガス制御ツールは、処理中の大気の個別かつ正確な制御も提供します。アクセサリーキットは、ユーザーがプロセスを迅速かつ正確に実行し、高品質の最終製品を提供できるように設計されています。それは絶縁材および金属化のキットを含んでいます、テスト分離および相互接続を可能にします;汎用ヒューズメッシュキット。そしてアルミニウム蒸発ボート。また、キットには、チャンバーと真空システムを相互接続するためのホースとチューブのセットがあります。HRF-802V-Hの電子機能は、すべてのパラメータの正確な制御と読み出しを提供するように設計されています。真空アセットは、デジタル読み出し機能を備えた多段式真空ポンプで設計されており、最大10〜6トーラーのプロセスを処理するように設計されています。この炉はまた、高度なロギングとモニタリングのためにPCに直接接続する革新的な温度出力モデルを備えています。HITACHI DD-802V-Hは、エレクトロニクス業界の多様なニーズに対応するために、精度と柔軟性のために設計された強力な拡散炉とアクセサリ機器です。このシステムは、高品質の結果を迅速かつ確実に生成することができ、業界の多くのアプリケーションに最適です。
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