中古 HITACHI / KOKUSAI DD-802V-H #9226000 を販売中

HITACHI/KOKUSAI DD-802V-Hは、半導体デバイス製造に使用される拡散炉およびアクセサリです。高真空の条件下で迅速かつ正確にウェーハの熱処理を行うように設計されています。HITACHI DD-802V-Hは、V型クォーツチューブと2つの小型垂直熱化型コイルを備えています。ガス冷却装置、ホットウォールタイプスターラー、高速傾斜機構を備えています。KOKUSAI DD-802V-Hは、高真空・低圧下で最大1000℃の温度での拡散処理が可能です。また、高性能熱カップルを使用することにより、高い温度均一性を実現し、高い再現性を有しています。これにより、温度の均一性を正確に制御することができ、熱酸化、不純物の活性化、ファインラインパターンの作成などのプロセスを可能にします。DD-802V-Hには、デュアルサーマルチャンバー設計のクォーツチューブがあります。この配置により、放出されたエネルギーの膨張と分配により、より効率的な熱伝達を提供することにより、温度分布を改善することができます。また、オートローダーを搭載しており、大規模な拡散処理を行う際の動作を簡素化し、待ち時間を最小限に抑えます。また、日立・国際DD-802V-Hでは、ガスの流れを特定の条件や工程に合わせて微調整できるガス制御装置を提供しています。HITACHI DD-802V-Hは優れた運用能力を有し、メンテナンス性が低い。それは単相208V AC電源によって動力を与えられます。その他の機能には、高出力マニュアルリフト、傾斜機構、ガス冷却システム、および調整可能なヒーターと温度コントローラがあります。これにより、KOKUSAI DD-802V-Hは、さまざまなアプリケーションやプロセスに適した信頼性と効率性の高いユニットとなります。結論として、DD-802V-Hは高真空下でのウェーハの迅速かつ正確な熱処理のために設計された拡散炉とアクセサリーです。それに水晶管、オートローダー、ガス制御装置および精密な温度調整のための傾きのメカニズムがあります。単相208V電源で駆動し、メンテナンス性が低い。HITACHI/KOKUSAI DD-802V-Hは、さまざまなアプリケーションやプロセスに最適な機械です。