中古 HITACHI / KOKUSAI DD-802V-H #9210098 を販売中

HITACHI / KOKUSAI DD-802V-H
ID: 9210098
ウェーハサイズ: 6"
Furnace, 6" Process type: AP Controller: CX1000 Temperature controller: CQ1400 Gasses: N2, H2, O2, O2 MFC.
HITACHI/KOKUSAI DD-802V-Hは、基板加熱用に設計された高度で汎用性の高いデジタル制御拡散炉です。それは頑丈な304L SSの部屋およびホウ素の窒化物(BN)の発熱体が装備され、1000°C。の最高温度較差を提供します。このコンパクトな炉は、優れた温度均一性を備えた5ゾーン耐熱装置を備えています。さらに、最大4 KWの最大積載量と0。2%の高い電力精度を提供します。これにより、単一のウェハと基板加熱プロセスの両方に非常に適しています。HITACHI DD-802V-Hは、加熱プロセスを正確に制御するために、高精度のPID温度コントローラを搭載しています。さらに、LEDディスプレイ(静的およびダイナミックレンジ)が付属しているため、温度設定を正確かつ迅速に調整および監視できます。国際DD-802V-Hでは、タイマー設定、アラーム監視、クローズドループ制御、自動リトライ、自動チューニングなど、さまざまな機能を提供し、優れた温度安定性と均一性を提供しています。高品質で信頼性の高い性能を確保するために、DD-802V-H拡散炉はセラミック繊維断熱材、耐久性のある高温部品、および高速熱回収で構成されています。また、高効率のPIDオートチューニング温度制御システムとデジタル温度ディスプレイにより、幅広い処理温度で正確な温度制御を実現します。その堅牢なビルドと品質の構造はまた、長持ちし、トラブルのない操作を保証します。HITACHI/KOKUSAI/HITACHI/KOKUSAI DD-802V-H拡散炉のアクセサリーも豊富に取り揃えています。これらには、ユニバーサルパワーコード、石英チューブ、サンプルトング、石英プレートのサポートが含まれます。これにより、オペレータは手間や複雑さをかけずに、拡散炉をすばやく設置して使用することができます。HITACHI DD-802V-H拡散炉は、基板プロセス向けの優れた信頼性の高い加熱ソリューションです。それは使いやすく維持することを作る機能の広い範囲を提供します;その5ゾーン抵抗加熱ユニットは優れた温度均一性を保証し、PIDコントローラは正確な温度制御を保証します。さらに、効率的なエネルギー使用のためにPID自動調整温度制御マシンを搭載しており、手動校正の必要性を大幅に低減します。この拡散炉は、堅牢な構造と高品質の構造と相まって、卓越した長寿命の性能を提供します。
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