中古 HITACHI / KOKUSAI DD-802V-H #293608646 を販売中

HITACHI/KOKUSAI DD-802V-H拡散炉とアクセサリーは、半導体デバイスの熱処理において、汎用性と信頼性に優れた装置です。高温高圧処理が可能で、1500°Cまでの加工が可能です。このユニットには、内部発熱体を備えた拡散炉、および加熱ガスおよびチャンバー圧力制御の柔軟性が含まれています。拡散炉は9インチの内径を持ち、シングルハイトチャンバーを備えているため、最大ワークサイズは8インチx 8インチです。主要な部屋はMoSi2の正確さの2つの（2）方向に調節可能なモリブデンの殺菌剤（±1ºC）の発熱体によって、加熱されます。この機械はまた2つの（2）方向調節可能な二次発熱体、±3ºCの正確さの1000°Cの最高温度への各加熱を、提供します。また、高精度化のため、室内温度を初期温度より10°Cも低く抑える冷却工具をDD-802V-Hしています。KOKUSAI DD-802V-Hアセットは、チャンバー内のさまざまな雰囲気を可能にします。窒素および不活性ガスは、側壁入口を介して、毎分最大10リットルの流量で導入することができます。外部ガス循環のための追加のポートは、酸化大気などのより積極的な大気の制御を可能にします。ガスの流れ制御に加えて、モデルはまた調節可能な圧力設定の2つの入口港そして1つの排気口が付いている部屋圧力を、制御することができます。DD-802V-Hは、最適な加工条件と安全性を確保するために、温度、圧力、湿度を監視するための自動装置を含む多数の制御および監視機能を備えています。また、緊急時に直ちにチャンバーへの電源を遮断するシャットオフユニットと、過圧を防止するための高度な圧力リリーフバルブを備えています。HITACHI/KOKUSAI DD-802V-H拡散炉およびアクセサリーは、半導体加工から太陽光発電デバイス製造まで、さまざまな用途に最適です。この機械は、自動化された制御および監視機能、多目的な大気、および正確な発熱体により、最高レベルの安全性と信頼性を提供します。HITACHI DD-802V-Hは、高温高圧加工を求める企業にとって理想的なソリューションです。