中古 HITACHI / KOKUSAI DD-1223VN #9351395 を販売中

HITACHI/KOKUSAI DD-1223VN Diffusion Furnaceは、電子産業用シリコンウエハ製造用の高精度製造ツールです。この炉は、シリコンウェーハ製造のための拡散プロセスで優れた精度と均一性を提供するように設計されています。HITACHI DD-1223VN拡散炉には、拡散動作時に精密な熱制御を行うために、広範囲の温度範囲を持つ高度な温度制御ユニットが含まれています。この炉には高周波電源装置が搭載されており、消費電力を削減し、炉の動作温度範囲をより正確に制御できます。高級ステンレス鋼を使用しており、高温・高圧に対応した業界グレードの運転が可能です。KOKUSAI DD-1223VNのユニバーサルデザインは、作業範囲全体にわたってウェーハ温度の均一性を確保するために、簡単にmakeloadingとアンロードするように設計されています。高精度温度制御ユニットには、リアルタイム温度監視用の赤外線ピロメータが内蔵されています。これは、プロセスの均一性のための再現可能な熱入力と一貫した結果を提供します。熱はより安定した、正確な拡散プロセスを保障するエネルギー効率が良い暖房システムによって発生します。付属のクォーツボートは、加工中にウェーハを収容し、迅速かつ均一な拡散操作を可能にします。DD-1223VNには、ユーザーエクスペリエンスを向上させるさまざまなアクセサリーも含まれています。この炉には、揮発性ガスを排出することによって拡散プロセスを改善するための排気ユニットが含まれています。炉の環境をよりよく制御し、監視するためにいろいろな外的な温度センサーおよびモニターはまた利用できます。結論として、HITACHI/KOKUSAI DD-1223VN拡散炉は、電子産業向けの汎用性と高精度な生産ツールです。高精度の温度制御、エネルギー効率の高い加熱機、多種多様なアクセサリーにより、高温シリコンウェーハ拡散動作に最適です。