中古 HITACHI / KOKUSAI DD-1223V #9377447 を販売中

HITACHI / KOKUSAI DD-1223V
ID: 9377447
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
Furnace, 12" Process: H2 Anneal 2004 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-1223Vは、様々な用途のプロセス温度を迅速かつ正確に制御するために設計された拡散炉です。この先進的なデバイスは、幅広い結合を作成したり、様々な薄い研磨膜やその他の薄い材料沈着プロセスを処理するのに適しています。HITACHI DD-1223V拡散炉は、さまざまなプロセスに最適な効率と性能を実現するよう設計されています。これには、金属やセラミックスの接合、研磨膜、薄い材料蒸着プロセスなどが含まれますが、これに限定されません。このデバイスは、最大1250°Cの温度範囲を使用し、誘導加熱装置を使用しています。この高度なシステムは、高効率と低エネルギー消費を提供し、ユーザーが必要な温度をより正確に管理することができます。KOKUSAI DD-1223V拡散炉は、真空混合ホットゾーンユニット(VMHZS)により、均一で精密な温度分布を作り出します。RTDによる酸化などの熱差を防ぎ、目標温度の精度を向上させます。デバイスの温度制御ループには、PID、ベータプラチナ、Thermus ML6-HTの3つのセンサーが装備されています。ベータプラチナタイプセンサーは1250°Cまで温度で作動できるThermus ML6-HTセンサーが高精度で制御することができます。DD-1223V拡散炉は、高真空運転と材料の究極の昇華のために設計されています。このデバイスには強力なファンと最適化された気流ツールが組み込まれており、揮発性および危険物の安全な避難を可能にします。このユニットには、より速い冷却のための高度な冷却資産がさらに装備されています。HITACHI/KOKUSAI DD-1223V拡散炉は、Mitsubishi Computerized Control Model (MCCS)を搭載した完全自動化デバイスです。このデバイスには、視覚的にインタラクティブなユーザーの指示が含まれているため、デバイスの管理が容易になります。オートメーション機器を使用して、メモリから最大20のプログラムを呼び出すことができます。プログラムは便利なナビゲーションのために便利なチェーンメニュー表示に割り当てられています。HITACHI DD-1223V拡散炉には、便利なアクセサリーも多数あります。これは高められた性能のためのS-33Vタイプ窒素の浄化システムを含んでいます。この特殊ユニットは、プロセス環境に存在する酸素の量を減らすのに役立ちます。この装置には低圧窒素ガス装置も含まれており、炉室内の大気中の窒素濃度を高めるのに役立ちます。これにより、酸化を低減し、材料の品質を向上させます。要約すると、KOKUSAI DD-1223V拡散炉は、様々な薄物蒸着プロセスなどのプロセス温度を迅速かつ正確に制御するために設計された先進的な装置です。このデバイスには、均一な加熱と優れた温度制御精度のための高度な真空混合ホットゾーンツール(VMHZS)が装備されています。また、MCCS (Automated Mitsubishi Computerized Control Asset)を搭載しており、プリセットプログラムなどを高速にナビゲーションできます。
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