中古 HITACHI / KOKUSAI DD-1223V #9351374 を販売中

日立HITACHI/KOKUSAI DD-1223Vは、金属/Siや低温プロセスなどの半導体加工アプリケーション向けに開発された最先端の拡散炉です。HITACHIの拡散炉のラインのより先進的なモデルの1つ、それは優秀な技術、性能、信頼性およびユーザーフレンドリーを提供します。HITACHI DD-1223Vは急速な熱処理と過渡酸化サイクルが可能で、最高グレードのシングルウエハ処理が可能です。そのオープンフレーム設計は、オプションのCVDインサートのオプションを含む、さまざまなツール構成のみに対応しています。炉の設計自体はコンパクトで頑丈で、コンパクトな寸法と軽くてタフな構造で、優れた剛性と振動減衰を提供します。その結果、加熱精度が向上し、正確かつ一貫した処理が可能になります。KOKUSAI DD-1223Vは、電気抵抗または特殊ガスバーナーの2つの加熱ユニットを選択できます。両方とも使いやすく、維持し、1100°Cまで調節可能な温度を提供します。特に電気機器は高効率であり、近くのソースから干渉することなく信頼性の高い加熱を提供します。CVDインサートを使用すると、ウェーハが同じ温度および性能で動作する間、大気の簡単な置換をサポートします。統合されたコントローラーシステムは、すべての主要なプロセスチャンバーシステムと互換性があり、フルカラーグラフィックス、リアルタイムディスプレイとモニタリング、低角度観測ウィンドウ、高度なマルチゾーンプログラミングなど、幅広い機能を提供します。直感的なユーザーインターフェイスにより、セットアップと操作が簡単になり、サポートされたソフトウェアは遠隔地からのアクセスを可能にします。最後に、安全性はDD-1223Vの重要な要素であり、潜在的な残留温度から保護するための自動サイクルオープニングユニットなど、さまざまな安全性向上の機能を備えています。また、エラーに対する安全なガード、圧力変化や湿気からの保護を確保するための統合ロックアウトマシンもあります。HITACHI/KOKUSAI DD-1223Vは、最高の結果を得るために、炉、コントローラ、タイマー、検出器などの完全なアクセサリによってサポートされています。また、技術支援、定期的なメンテナンス、校正操作など、さまざまなアフターサービスやサポートも利用できます。結論として、日立DD-1223Vは革新的で高効率で信頼性の高い拡散炉であり、さまざまな用途に最適です。その優れた設計と建設、ユーザーフレンドリーな機能のその範囲と相まって、それは半導体加工業界の専門家のための理想的な選択肢になります。