中古 HITACHI / KOKUSAI DD-1223V #9190226 を販売中
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ID: 9190226
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2001
Furnace, 12"
Process: Pyro
(100) Process wafers
Process type: Oxide
Gas supply: Bottom
PCW Supply: Bottom
Boat operation: 1Boat
Load lock: No
(25) Carrier slots
System control:
Main controller: CX3002C
Touch screen operation
Gas flow chart (Front, Rear)
Temperature controller: CQ1600
Pressure control: EPV100-AW
Controller power: Ø1 208V 150A
Heater power: Ø3 208V 350A
Oxygen analyzer: No
Tape heater controller: SR Mini
Torch
Process gases:
Process gas 1: N2
Process gas 2: N2
Process gas 3: O2
Process gas 4: O2
Process gas 5: H2
Process gas 6: Hcl
Process gas 7: N2
Process gas 8: N2
Gas distribution system:
Basic style: FUJIKIN IGS
Tubing material: SUS-316L
Tubing finish: VCR
Manual valve: FUJIKIN
Air operated valve: FUJIKIN
Regulator: AP Tech
MFC (Maker. Model): AERA
GAS Detector
Exhaust distribution system:
Air operated valve type
APC EPV-100
Baratron gauge
Main valve
Cold trap
Pump line
Wafer / Cassette handling:
Wafer alignment: No
(16) Cassette storage
Cassette in/out port
Cassette handling robot
Wafer transfer type: 1+4
Fork material: Ceramic
(5) Forks
Fork variable pitch
Fork wafer presence sensor
Elevator handling:
Boat elevator
Auto shutter
Boat rotation
Mechanical parts
Heating chamber:
D4EX16975-1 Heater
TC Type: No
Spike T/C
Overtemp protect T/C
Door interlock
Exhaust System:
Heater exhaust
Gas box exhaust
Process exhaust
ETC:
Handy terminal
Maintenance zig: No
Operation manual: No
Electrical manual: No
Mechanical manual: No
Boat cap ass'y: No
Manifold ass'y
Cap base ass'y
Tube setting part ass'y
Missing parts:
Scavenser EXH MS3 Sensor
Torch TC
Currently warehoused
2001 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-1223Vは、半導体・太陽電池製造、薄膜成膜、その他のプロセス炉アプリケーションなど、幅広い用途に使用できる汎用性の高い拡散炉です。HITACHI DD-1223Vは、絶縁石英管と最大炉温度1,200°Cを特長としています。炉は縦および横の両方構成に取付けることができ、酸素および窒素のバランスのレベルを調節するための室内ガス・システムを含んでいます。KOKUSAI DD-1223Vには、さまざまなプロセス要件をサポートするように設計されたアクセサリーが付属しています。これらのアクセサリーには、汚染を低減するための石英ライナーチューブ、排気を収集するためのコレクションプレート、アークを防止するためのアノードリング、基板の温度を制御するためのるつぼヒーターが含まれます。さらに、ガスモニタリングユニット、可燃性ガスフィルター、安全シャットオフ、温度が設定限界を超えると自動シャットオフなど、さまざまな安全機能を備えています。DD-1223Vは使いやすいタッチスクリーンインターフェイスとさまざまなプロセスのための予めプログラムされたレシピの広い範囲を備えています。この炉は、Windows対応のPCを介してプログラムされ、ネットワーク接続を介して遠隔操作することができます。さらに、炉には外部システムに接続するためのRS232インターフェイスが含まれており、ユーザーは追加の制御および監視機能にアクセスできます。HITACHI/KOKUSAI DD-1223Vは、耐久性と信頼性、そしてエネルギー効率に優れた設計です。炉は丈夫なアルミニウムから組み立てられ、二重絶縁された水晶管を含んでいます一貫した温度を全体で作り出す熱損失を減らすために。この炉には、電源と制御回路を通してクーラントを循環させ、安全な動作と冷却効率を確保する水冷機も含まれています。HITACHI DD-1223V拡散炉&アクセサリーは、コンパクトで省スペース、クリーンルームや産業用途に適した使いやすく、汎用性の高いツールです。それは信頼できる操作、広範なプロセス制御の特徴、高度の安全特徴および容易な維持を提供します。直感的なタッチスクリーンインターフェイス、包括的なアクセサリーパッケージ、プログラミング済みのレシピの幅広い選択肢を備えたKOKUSAI DD-1223Vは、あらゆるユーザーに最適です。
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