中古 HITACHI / KOKUSAI DD-1206VN-DM #9251483 を販売中

HITACHI / KOKUSAI DD-1206VN-DM
ID: 9251483
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
Diffusion furnace, 12" 2004 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-1206VN-DMは、研究および産業用途向けに設計された高密度拡散炉および補助装置スイートのトップです。それは1200°Cまで拡散プロセスが可能である強力な800ワット1。65インチの直径の炉の頭部と来ます。このデバイスはまた、真空シール可能な蓋、デジタルプロセス制御、プログラム可能な温度ランプを備えており、高密度、高温拡散の正確なアプリケーションを可能にします。HITACHI DD-1206VN-DMにはさらに3つの補助ユニットがあります。ガスデリバリーシステム、ガスエグゾーストフード、コントロールコンソール。ガス供給システムにより、2つの異なるガス大気を維持、制御し、拡散室に提供することができます。これは、等温熱処理などの高度な熱処理をシミュレートするだけでなく、in-situ酸化または濃縮処理としても使用できます。精密なガス制御のための調整可能な流量計や流量分布のための3方向バルブを含む補助ボディの特別な設計により、炉の後部にある2つのガス出口のいずれかから異なるガスを炉に供給することができます。KOKUSAI DD-1206VN-DMには、拡散チャンバーの上部に簡単に設置できるように設計されたガス排気フードも装備されています。このフードには排気口と真空ポンプがあり、選択したプロセス中に炉の内部からのガスを精密に除去することができます。DD-1206VN-DMは、拡散プロセスのすべての必要な情報を表示する統合制御コンソールを介して制御されます。設定された温度や大気ガスの種類、炉の電力使用量、温度機能、炉の現在の状態などの監視機能など、さまざまなプロセスパラメータ。要するに、HITACHI/KOKUSAI DD-1206VN-DMは、さまざまな大気中で精密な高温拡散プロセスを実行することができる最先端の拡散炉とアクセサリーのセットアップです。それは強力な800ワットの炉の頭部、デジタルプロセス制御、3つの付属の単位および制御コンソールを特色にします。
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