中古 HITACHI / KOKUSAI DD-1206V #9377438 を販売中

HITACHI/KOKUSAI DD-1206V拡散炉とアクセサリーは、拡散、前拡散、アニーリングプロセスのための自動化された高効率なソリューションを提供します。5ホットゾーンと1レイヤーウェーハ処理用のリアローディングゾーンを備えたトップローディング設計、優れた加熱均一性を実現する4つの加熱カートリッジ装置を備えています。5レベルのリフトシステムにより、ウェーハにアクセスでき、ヒートシールドとしても機能します。HITACHI DD-1206Vは、急速なサーマルサイクルとプロセス安定性を可能にする6チャンバー設計を採用しています。1160°Cまでの温度と250°C/秒までの急速な冷却速度で、炉はほぼすべてのアプリケーションに最適な性能を達成することができます。また、PIDクローズドループ制御、エッジベースの温度制御、および正確な熱調整を備えています。炉は直感的なソフトウェアインターフェイスと付属のHCC2ホットプレートユニットで完全に自動化されています。オプションのガスアシストコントローラ（GAC）は、KOKUSAI DD-1206Vに加えて、ガスの流れを素早く簡単に調整することができます。DD-1206Vには、利便性と使いやすさを向上させるさまざまなアクセサリーも付属しています。自動化されたウェーハシッパーは、効率的なスイススタイルのローディングとウェーハのアンロードに最適です。構成可能なトロリーマシンは、炉の中で最大10個のカセットを素早く正確に移動させることができます。HITACHI/KOKUSAI DD-1206Vは、ユーザーが簡単にプロセスを監視することもできます。In-situプロファイリングは、プロセスの可視性と制御を向上させるために、オプションの統合IRサーモグラフィーおよびパイロメトリックオプトセンサーで利用できます。ロジック制御とレシピ管理を備えた高度なソフトウェアインターフェイスにより、ユーザーは数回クリックするだけでプロセスを構成、監視、調整できます。結論として、日立DD-1206V拡散炉とアクセサリーは、幅広い用途において効率的かつ効果的なソリューションを提供します。高度な制御、自動化された機能、周辺アクセサリを備えたこの炉は、ユーザーに強力なプロセス制御、信頼性、および手頃な価格を提供します。