中古 HITACHI / KOKUSAI DC-8600S #293642889 を販売中
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HITACHI/KOKUSAI DC-8600Sは、卓越した均一性と温度制御を実現する専用拡散炉です。HITACHI DC-8600Sは、超高速ガスフローと各種オプションアクセサリーを搭載し、正確で信頼性の高い基板処理を実現します。KOKUSAI DC-8600Sは、あらゆるワークベンチへのフットプリントを最小限に抑えるコンパクトなデザインです。拡散の部屋は速く、容易な取付けを可能にする自立した単位を特色にします。さらに、DC-8600Sの統合ガス供給接続により、追加のガスホースとレギュレータが不要になります。HITACHI/KOKUSAI DC-8600Sの超高速ガス流量(最大200L/min)は、拡散室全体に均一な温度分布を保証します。また、高度な温度制御と監視機能を備えており、指定された下限と上限の間の温度を維持し、0。1°C/Secのレートで動作します。自動冷却機能は、汚染を制御するのに役立ち、また、安全な製品の除去を可能にします。HITACHI DC-8600Sは幅広い用途に対応しており、金属化、熱酸化、酸化還元プロセスなど様々な用途に適しています。統合されたモニターにより、ユーザーは温度プロファイルとアラームをリアルタイムで表示でき、迅速かつ簡単に監視できます。チャンバーは、プロセスの自動化と温度プログラミングにも適しており、連続的で無人の動作を可能にします。KOKUSAI DC-8600Sには、コントロールボックス、真空ポンプ、ロードロックなど、さまざまなオプションアクセサリーが付属しています。負荷ロックは基質の速く、容易なローディングおよび荷を下すことを提供し、処理時間を最小にします。真空ポンプは-3x 10-5 Torrの圧力でチャンバーにガスを供給し、プロセスパラメータのカスタマイズを容易にします。全体として、DC-8600Sは優れた基板処理を提供するように設計された汎用性と信頼性の高い拡散炉です。HITACHI/KOKUSAI DC-8600Sは、幅広い用途、汎用性の高いアクセサリーオプション、統合モニタリングシステムを備え、複雑な基板処理に最適です。
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