中古 HIKE DJ1223V CX3 #9262170 を販売中

HIKE DJ1223V CX3拡散炉は、高性能プロセスの開発と生産活動のために設計された完全に統合された垂直拡散炉です。拡散プロセスの速度と精度を高めるさまざまな機能を備えています。この炉は、金属板の複数の層、2つの独立したチャンバー、および最大の効率のために3つの独立して作動するロードロックで構築されています。炉の上の部屋は特許を取られたHIKEドライブ棒装置を収容するドライブチャンバーです。駆動ロッドシステムは、炉室に接続されている4つのロッドで構成されており、拡散プロセスで使用される温度を完全に制御することができます。この駆動ユニットは、動作中に最適な効率を提供するように設計されており、異なる材料や温度を処理するために簡単に調整できます。DJ1223V CX3のロードロックは、統合されたプログラマブルロジックコントローラ（PLC）を介して動作します。ロードロックは、3つの絶縁チャンバを備えており、プロセスチャンバを汚染することなく、炉からウェーハまたは基板を挿入および除去します。3つのチャンバはそれぞれ最大6 「x 6」ウェーハを処理でき、拡散プロセス中の高精度制御のために個別にプログラム可能です。炉の最下の部屋は1300°C。の最高温度の炉の均一な暖房を維持する抵抗発熱体に家です、このエレメントは、15〜400°Cのプロセス温度を維持でき、すべてのプロセス工程で正確な温度制御が可能です。加熱された空気は、高精度かつ再現性のある拡散プロセスのためにサンプル表面全体に均一な温度を提供する送風機ファンマシンを介して炉室全体に循環されます。HIKE DJ1223V CX3拡散炉は、プロセス開発と生産活動のためのさまざまなプロセスサイクルが可能です。また、温度制御用のクロメルアルメル熱電対、ロードロックを見やすくするための統合クォーツハロゲンチャンバーライト、組み込みのウェハーマッピング機能など、プロセス監視を支援するいくつかの機能が付属しています。これらのすべての機能により、DJ1223V CX3さまざまなアプリケーションで使用できる堅牢で強力な拡散炉です。