中古 HIKE DD-1223V CX3 #9242114 を販売中

HIKE DD-1223V CX3
製造業者
HIKE
モデル
DD-1223V CX3
ID: 9242114
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2002
System, 12" 2002 vintage.
HIKE DD-1223V CX3は、電子デバイス用半導体基板の製造に使用される拡散炉です。それは酸化物および誘電性の適用のための顕著な性能を提供する経済的で、密集した炉です。この炉は、ISO 9001認証およびRoHS指令準拠の最高要件を満たすように設計およびテストされています。炉はアルミニウムハウジングに囲まれる2つの横の炉床版を含んでいる部屋から成っています。プレートの長さは1メートルで、アンテナカンバー、加熱ゾーン、冷却ゾーンの3つのセクションに分かれています。アンチカンバーには、運転中に加熱された空気を炉全体に循環させる周囲空気が含まれています。これは、均一な温度分布と結晶化の均一な速度を生成するのに役立ちます。暖房ゾーンは、アンテカンバーと冷却ゾーンの間に位置しています。加熱ゾーンには、可変速度送風機とセラミックヒーターコアを組み合わせて所望の温度を維持する温度制御システムが装備されています。このゾーンは1223°Cまで温度に達することができ、熱処理プロセス全体で優れた温度安定性(+/-0。5°C)を維持することができます。冷却区域は炉の最後のセクションであり、炉の高温をすぐに減らすのに使用される熱交換器が装備されています。これにより、ウェーハの過剰処理が禁止され、所望の温度までの最短時間で冷却されます。オーブンはまた、過熱状況が発生するのを防ぐために設計された安全機能が装備されています。これは、炉がメーカーの最大セットポイントよりも高い温度に達するのを防ぐために、トリプル安全インターロックポイントを介して行われます。オーブンには、緊急時の手動切断スイッチもあります。この炉は、市場の他のモデルと比較して、低消費電力と維持するための低コストのため、非常に費用対効果が高いように設計されています。さらに、すべてのDD-1223V CX3炉は個別にテストされ、ISO 9001規格に校正されます。全体的に、HIKE DD-1223V CX3は、酸化物および誘電体基板の生産のための効率的で信頼性の高いツールです。それは費用効果が大きいパッケージの優秀な温度調整の正確さ、均等性および安全特徴を提供します。
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