中古 HIKE DD-1223V CX3 #9235470 を販売中

HIKE DD-1223V CX3
製造業者
HIKE
モデル
DD-1223V CX3
ID: 9235470
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2001
Systems, 12" Process: Diffusion 2001 vintage.
HIKE DD-1223V CX3は材料の連続的な処理のために設計されている強力で、信頼できる拡散炉および付属品パッケージです。この3ゾーン装置は、高精度で一貫した結果を提供するように設計されており、チャンバー内のガスと温度の正確な制御と均一な分布を可能にします。DD-1223V CX3拡散炉には、精密温度センサ、信頼性の高いコントローラ、多位置エアロックドアなどの堅牢なコンポーネントが装備されています。HIKE DD-1223V CX3は、シングルゾーンダイレクト、セミバッチ、またはバッチディフューザーです。このシステムは、ドーパントやその他のプロセス材料の順次導入を可能にするために、いくつかのセグメントに分かれている単一のゾーン真空密封チャンバーを使用しています。セグメントはエアロックドアで区切られています。熱はチャンバー全体に均等に分布し、サイクル時間はプロセス種に合わせて調整することができます。また、反応温度を高速かつ安定に制御する効率的な冷却機構を備えています。DD-1223V CX3は、幅広いプロセス材料をサポートするように設計されています。内部真空源と、加圧ガスへのアクセスを提供する入口および出口ポートを備えています。さらに、制御された方法でリアクタントの導入を可能にするポートが装備されています。このポートは、デュアル入力マスフローコントローラを使用するために特別に設計されています。HIKE DD-1223V CX3はまた、ユーザーが便利なコンソールから、拡散プロセスだけでなく、炉の状態を構成し、監視することができ、デジタルプロセスコントローラを提供します。DD-1223V CX3は、自動化されたサンプルローディングステーションや大規模なサンプルハンドリングトレイなど、いくつかの高度なアクセサリーでさらにサポートされています。正確なクォーツチューブ熱電対と特殊な発熱体は、チャンバー全体で一貫した温度を保証します。真空窓に反射防止コーティングを施し、KFタイプの継手や各種オプションコンポーネントを使用することで、最も困難なプロセスを柔軟にサポートできます。全体的に、HIKE DD-1223V CX3は、材料の連続処理のために特別に設計された強力な拡散炉とアクセサリーパッケージです。幅広いプロセス材料で簡単にセットアップできるように設計されたこのツールは、精密温度センサ、信頼性の高いコントローラ、および耐久性のあるコンポーネントを備えており、一貫して正確な結果を保証します。DD-1223V CX3は、自動化されたサンプルローディングや大規模なサンプルハンドリングトレイなどの高度なアクセサリーを提供し、簡単で便利なワークフローを提供します。
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