中古 GT SOLAR 513349 #9236075 を販売中
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GT SOLAR 513349は、集積回路デバイスの製造に使用されるシリコンウェーハへのドーパント材料の拡散を正確に制御するために構築された拡散炉です。この第2世代炉には、複数のウェーハにわたるドーパントの蒸着を同時に正確に制御するための大きな作業領域が含まれており、複数のユーザー定義の設定を使用してプロセスを微調整できます。その発熱体は、最高レベルの品質を維持するために不活性な環境と制御された雰囲気で、基板全体で一貫した均一性を確保するために校正されています。炉は、周囲温度範囲が最大1500°Cまでのユーザーフレンドリーなインターフェイスによって制御され、正確な熱制御と温度管理を可能にします。炉は最先端の部品からなされ、ユーザーが問題を迅速かつ簡単に診断し、ダウンタイムを最小限に抑え、生産性を最大限に高めることを可能にする高度な診断に裏付けられています。また、過熱、圧力、およびその他の潜在的な危険からユーザーやコンポーネントを保護するための自動安全機能も備えています。この炉は、潜在的に危険な蒸気を除去するための排気フード、低圧処理用の真空ポンプ、または注射可能なドーパントを正確に監視するためのガス/化学供給システムなど、さまざまなアクセサリーに接続するように設計されています。より正確な制御のためのプログラマブルロジックコントローラ(PLC)などの追加オプションを追加して、特定の処理ニーズに合わせて構成をカスタマイズすることができます。513349は要求の厳しい生産および研究目的のための多目的、信頼でき、経済的な拡散炉です。堅牢な構造と高度な機能セットにより、さまざまな半導体製造事業に理想的であり、今後も生産プロセスに不可欠な部分であり続けます。
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