中古 GT SOLAR 513349 #9236074 を販売中

GT SOLAR 513349は、半導体膜を形成し、ウェーハを結合し、金属層を作成するために使用される拡散炉と関連アクセサリスイートです。GT SOLAR 51334x拡散シリーズのシリーズの最新製品として、513349は、前任者と比較して機能の改善セットを提供します。GT SOLAR 513349は、2,500m2以下の作業面積と最大125mmの基板サイズを提供し、追加の治具を必要とせずに大規模なプロセスを実行することができます。1150°Cまでのサポート温度、513349はPECVD、 PVD、 ALDおよび他の高度の技術が可能です。炉は窒素、アルゴン、水素、またはヘリウムの大気、またはそれらの任意の組み合わせで使用することができます。エネルギー/酸化物の比率は、セルレベル変調を完全に制御するために、500：1から2500：1の5段階で調整可能です。10種類の電源ディストリビューションを選択でき、最大5つの外部RFソースを使用できます。GT SOLAR 513349はISOクラス5クリーンルームも備えており、プロセス領域が外部汚染物質から解放されていることを保証します。また、1 x 10-6 mbarの解像度を持つ1 mTの統合された二次真空、および25°Cから200°Cまで調節可能なベースプレート温度もあります。安全性の面では、513349は検査窓、炉の中断、温度リミッター、および熱衝撃の保護による電力カットオフを含む複数の緊急遮断システムが付属しています。このモデルには、清掃とメンテナンスが容易な2。5cm厚のアルミナプレートと、窒素とアルゴンの両方の個々のガス入口、コンセント、貯水池を備えたガスカセットも含まれています。全体として、GT SOLAR 513349は、幅広い半導体および金属化層にわたる業界グレードのプロセス向けに設計された汎用性の高い特殊拡散炉およびアクセサリパッケージです。信頼性が高く正確であることが証明されているだけでなく、さまざまな安全対策を提供しているため、多くの加工専門家にとって好ましい選択肢です。