中古 GT SOLAR 513349 #9236073 を販売中
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GT SOLAR 513349は、半導体およびオプトエレクトロニクス製造でよく使用される拡散炉およびアクセサリーです。このモデルは、2400°Cまで動作できる超高温炉で、炉の端の壁に発熱体が組み込まれています。この炉には、温度の均一性、より高いマススループット、およびより高い品質管理を提供するコールドウォール設計が付属しています。それは正確に温度を監視し、制御できる高温制御装置と統合されます。この制御システムは、温度センサとして熱電対を使用し、炉の温度を維持するためにPIDタイプコントローラを使用します。この炉はまた、拡散の異なる段階のために可変的な真空レベルで動作するようにする高度な設計真空ユニットを備えています。機械は2つの強力な真空の送風機およびステンレス鋼からなされる真空の部屋を含んでいます。これにより、優れた温度均一性が得られ、チャンバーへの潜在的な汚染物質の侵入を最小限に抑えます。513349の他の特徴は炉の部屋を通して均一な熱分配を保障する高性能の熱伝達率を含んでいます。この炉には、操作のプログラムと制御に使用できる使いやすいデジタルプログラマブルロジックコントローラ(PLC)も付属しています。さらに、このツールは過熱または過度の温度の場合に活性化することができる冷却資産を持っています。冷却モデルは、水冷オイルヒータータンクと熱交換器で構成されており、最高温度でも上部チャンバーを安全な温度に保つことができます。それはまた炉の部屋の酸素の量を制御するのを助ける酸素の計量装置を含んでいます。全体として、GT SOLAR 513349は高温拡散炉で、高品質の部品と高度な技術で構築されています。それは拡散のプロセスの間に精密な制御を提供し、均一な、良質プロダクトを毎回保障します。
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