中古 GT SOLAR 513349 #9236058 を販売中
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GT SOLAR 513349は、半導体産業で特定材料の蒸着およびエピタキシーに関連する熱処理に使用される拡散炉および関連アクセサリーです。シリコンウェーハ加工、III-V半導体成膜、薄膜太陽電池デバイス製造など、半導体製造における高温拡散用途に最適です。この拡散炉は、プロセス損失を最小限に抑え、歩留まりを改善するために、高いレベルの制御と精度を可能にするように設計されています。メンテナンスが容易なクオーツラインチャンバー、高度な温度制御装置、特定のプロセスのすべてのパラメータを監視するためのプロセス追跡機能、生産性を最大化するための幅広い追加アクセサリなど、さまざまな機能が付属しています。この炉は、温度を正確に制御する能力と、他の様々なプロセスをメイン操作に組み込むことによって蒸着プロセスを最適化する能力を考えると、多くの材料での使用に最適です。これには、ガス相ドーピングの適用と不要な物質層の除去が含まれます。また、安全性を最優先に設計されており、有毒ガスへの過剰曝露から人員を保護するために設計された焼き込み保護装置や、物性損傷を引き起こす可能性のある暴走プロセス温度を防止するための緊急遮断システムも備えています。513349はまた遠隔性能管理を可能にするいろいろな診断システムと統合することができます;これは独自のシステムに特化しただけでなく、他のベンダーの互換性のあるシステムも統合することができます。全体的に、GT SOLAR 513349拡散炉とその付属品は、高温拡散のための効率的で信頼性の高いシステムをユーザーに提供します。高度な温度制御、プロセス追跡機能、安全な動作により、半導体アプリケーションに最適なソリューションです。
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