中古 GT SOLAR 513349 #9236055 を販売中

GT SOLAR 513349は、高品質で信頼性の高い結晶シリコンソーラーウエハの製造に特長を提供するように設計された拡散炉およびアクセサリーです。製品は内部チャンバーと外部チャンバで構成され、外部チャンバは排気装置、低圧水多様体、および調整可能なリリーフバルブで構成されています。また、リン、ホウ素などの材料をシリコン基板に拡散させるための2つの誘導コイルを備えています。この拡散炉は、密閉チャンバーと水冷ユニットを組み合わせた誘導加熱システムを使用して、正確な温度と大気制御を提供します。誘導加熱機は、シリコン拡散のための最高温度1670°C （3038°F）を提供することが可能であり、タッチスクリーンディスプレイを備えたコンピュータインターフェースPLC/制御ユニットによって制御されます。炉は10-2 mbarの真空で動作し、DEOSツールと窒素、アルゴン、酸素のガス混合物を備えています。拡散時の酸化を防ぎます。炉にはダイヤフラムポンプが装備されており、珍しいガスをチャンバーから排出し、バックグラウンド酸素の低レベルを維持します。熱力学モデルから計算されたシリコン蒸気圧力は、拡散時の温度を正確に予測するために使用されます。この製品はまた、ホウ素、リンなどの材料を拡散室全体に注入するブッシュ型のガス供給資産を備えています。材料は精密測定システムを使用して計測されます。本製品は直径180mmのランタンケイ酸塩ボートを搭載し、電気機械式の位置決めモデルによって制御されています。安全のために、製品には非常停止装置とチャンバーの過圧を防ぐさまざまな安全弁とリリーフバルブも含まれています。外部および内部の部屋の壁は高級な304ステンレス鋼から成っています、そして五味方されたピラミッド上カバーは均一な暖房および最高の効率の十分な量を保障します。この製品は、高品質で信頼性の高いシリコンソーラーウェハを製造するための優れた選択肢です。拡散炉の精度と精度をブッシュ式ガス送りシステムと組み合わせることで、ソーラーウエハの製造に必要な温度と材料入力量を正確に制御することができます。安全規制に適合し、高効率で幅広いソーラーウエハの生産に適しています。