中古 GT SOLAR 1001057 #9236070 を販売中

GT SOLAR 1001057は半導体製造プロセスに使用される拡散炉および付属品です。環境温度1100°Cまでの高真空拡散炉で、半導体ウェーハのエッチング、成膜、製造に最適な環境を提供するために1。3x10-6 Torrの圧力を達成することができます。この拡散炉は3つの部分から成っています：炉、部屋および付属品。炉は装置の主体であり、拡散炉の部屋の内部の環境条件の精密な制御を可能にするガス供給および真空システムを含んでいます。チャンバーは、処理されるウェーハを収容するエンクロージャであり、必要な温度を達成するために発熱体によって加熱されます。アクセサリーには、ウェーハを固定するための台座、ウェーハを固定するためのリフターまたはクランプ、炉に接続するためのウェーハ用アダプタなど、処理されるウェーハを処理するための特別なツールが含まれています。拡散炉には、ウェーハや炉の損傷を防止するためのさまざまな安全機能が装備されています。それに部屋を開け、危険な材料を出すことなしで部屋の中のプロセスの目視検査を可能にする水晶窓があります。また、温度および/または圧力レベルが設定されたスレッショルドを超えた場合、炉をオフにする自動シャットオフシステムも備えています。この拡散炉のもう一つの特徴は、環境に優しい設計です。チャンバーは高温でも劣化しないステンレス製です。これにより、炉から発生する排出量を削減し、周囲の環境を清潔かつ安全に保つことができます。1001057拡散炉は、そのクラスで最高の一つであり、半導体ウェーハの正確な成長とエッチングを達成するために精密制御された環境温度と圧力レベルを提供します。高度な機能と安全プロトコルにより、集積回路の生産プロセスに最適です。