中古 GE 214 #293818395 を販売中

GE 214は、様々な半導体製造プロセスで使用するために設計された高純度の溶融石英から作られた高品質の拡散炉チューブです。214の独自の特性により、高温安定性、熱衝撃への耐性、汚染レベルの低い拡散プロセスに適しています。GE 214拡散炉チューブは、2000°Cを超える温度で高純度の石英砂を溶融する高度なプロセスを使用して製造されています。このプロセスは、結果として得られる材料が優れた純度と半導体製造プロセスに悪影響を及ぼす可能性のある最小レベルの不純物を有することを保証します。214拡散炉チューブの寸法は、半導体製造プロセスの特定の要件によって異なります。標準サイズは、長さが数インチから数フィートの範囲で、直径は通常数インチから1フィートの範囲です。チューブは通常円筒形で、正確な壁厚さで拡散プロセス中に均一な熱分布を可能にします。GE 214拡散炉チューブの主な利点の1つは、変形や劣化のない高温に耐える能力です。これは、正確な温度制御とチューブ全体の均一な熱分布を必要とするプロセスにとって重要です。214の材料の高い熱安定性は管が1000°Cを超過する温度で形および構造完全性を維持できることを保障します。熱安定性に加えて、GE 214拡散炉の管はまた化学腐食および汚染に対する優秀な抵抗を提供します。これは、腐食性ガスや化学物質を使用する半導体製造プロセスに不可欠であり、チューブ内の汚染や化学反応が処理中の半導体ウェーハの品質に悪影響を及ぼす可能性がある。214の拡散炉の管の性能をさらに高めるために、拡散プロセスを最適化するためにさまざまな付属品および部品は利用できます。ガス分配システム、温度コントローラ、圧力レギュレータ、断熱材などがあります。これらのアクセサリーは、温度、ガスの流れ、およびその他のプロセスパラメータを正確に制御し、望ましい拡散結果を得るように設計されています。GE 214拡散炉の管および付属品は通常水平または縦の構成で整理される複数の管を含んでいるかもしれないより大きい拡散炉システムの内で取付けられています。炉システムは、拡散プロセスの制御環境を作成するために、発熱素子、ガス配分システム、排気システムが装備されています。全体として、214の拡散炉チューブとアクセサリーは、温度、ガスの流れなどのプロセスパラメータを正確に制御する必要がある半導体製造プロセスにおいて不可欠な部品です。高い熱安定性、耐薬品性、汚染レベルが低いため、高品質で高性能な結果が要求される拡散プロセスに最適です。