中古 FLEXTRONICS DS-300 #9076765 を販売中

FLEXTRONICS DS-300は、半導体、MEMS、およびその他の関連産業で使用するために設計された拡散炉およびアクセサリ機器です。アニーリング、酸化、拡散など、幅広い用途に高精度の熱溶液を提供します。このシステムは、ステンレス製のチャンバー、シーススタイルのヒーター、およびより高い温度と均一性を制御するためのセラミック断熱パッケージを備えています。チャンバーには2つの独立したサーモパイルが装備されており、周囲環境と材料サンプルの正確な温度制御を可能にします。加熱素子は、定期的かつ継続的な操作のために設計されており、それらはコンピュータによって手動またはリモートで操作することができます。このユニットは、急速な冷却と過熱からの保護のための高効率水冷機を備えています。DS-300は、プロセス温度と環境温度の両方の均一性を維持するための温度制御および測定装置を備えています。工具の温度範囲は周囲から900°Cまでで、精度は± 1°C、安定性は± 0。2°Cです。この資産には、高純度の拡散プロセスのためのプロセスガスの品質を保証するための組み込みガス精製モデルもあります。さらに、プログラム可能なタイムコントローラ、データ収集システム、オートフィルガスコントロール、低圧域での動作用の真空コントローラなど、さまざまなアクセサリーを提供しています。FLEXTRONICS DS-300は、酸化、窒化、および急速な熱アニーリングを含む最大16の異なる拡散プロセスを実行することができます。また、不活性ガスと反応性ガスの両方に対応する特殊プロセスガスユニットを装備しています。このマシンは、リアルタイムのフィードバック制御やデータロギング機能など、多くの利点を提供しており、正確で一貫した結果を保証します。また、高度な技術を駆使して熱条件とプロセス環境の均一性を維持し、短時間で高品質な材料を製造することができます。要するに、DS-300は効率的な拡散炉とアクセサリツールであり、現代の電子および半導体デバイス製造の要件を満たすように設計されています。高精度で均一な熱管理資産、温度制御・計測装置、ガス精製モデル、各種アクセサリーを備えています。これらの機能はすべて、エレクトロニクスおよび半導体産業のさまざまな用途に適した、定期的および連続的な材料加工に最適です。