中古 FIRSTNANO EasyTube 3000 #293668360 を販売中
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ID: 293668360
Thermal furnace
Substrate sizes: 100 mm x 100 mm
UHP Gas lines: Up to 12 Mass Flow Control (MFC)
Automatic substrate loading/unloading system
CASCADE Process temperature control
Resistance furnace: 3 Zones
Temperature range: 1200 °C
High throughput with fastcool furnace.
FIRSTNANO EasyTube 3000は、革新的で効率的な結晶成長アプローチを提供する拡散炉とアクセサリーツールです。このシステムは、結晶成長、アニーリング、および処理アプリケーションに最適です。EasyTube 3000は、1650°Cまでの正確な温度を高速加熱速度で提供することができ、プロセス効率を最大限に高めます。これは、組み込みのシングルラインモリブデンレニウム(Mo-Re)加熱素子とセラミックファイバー断熱材のおかげで可能です。これらの部品は優れた熱安定性を提供し、シリコンやサファイアなどのさまざまな基板のプロセスパラメータを適切に最適化します。FIRSTNANO EasyTube 3000はまた、より良い熱均一性と正確な温度制御のためのグラファイトチューブを備えています。これにより、精度が向上し、より厳格なプロセスウィンドウと品質が向上します。さらに、高効率の冷却サイクルにより、熱応力を最小限に抑え、デバイスの劣化を防ぎます。EasyTube 3000には、大気を制御するための統合真空システム、データ収集用のデジタルセンサー、自動運転用のリアルタイム制御ソフトウェアなど、インテリジェントアクセサリのスイートが含まれています。これらのアクセサリはデータ収集と分析を合理化し、プロセスパラメータの詳細な特性評価を可能にします。FIRSTNANO EasyTube 3000は、蒸発、スパッタリング、CVDプロセスによる薄膜蒸着など、幅広い用途に最適です。グラファイトチューブ設計と低熱質量により、寄生損失を最小限に抑え、熱保護を改善し、歩留まりを最大化します。さらに、EasyTube 3000は、信頼性の高い操作と寿命を保証する耐久性のある材料とコンポーネントを備えた堅牢な構造を備えています。これにより、ダウンタイムを削減し、信頼性の高い結晶成長とデバイス処理を可能にする費用対効果の高いソリューションを提供します。全体として、FIRSTNANO EasyTube 3000は、結晶成長、アニール、および処理アプリケーション向けの効率的で信頼性の高いソリューションです。このシステムは、グラファイトチューブ設計、効率的な冷却、インテリジェントアクセサリー、堅牢な構造などの主な機能を活用することで、優れた性能を可能にする精度、スループット、歩留まりを提供することができます。
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