中古 EUGENE BJM3000 #9311273 を販売中

EUGENE BJM3000は、半導体デバイス製造などの産業で使用される各種材料の拡散に使用される拡散炉およびアクセサリ機器です。このシステムは、主炉、拡散室、補助アクセサリーユニットの3つの主要コンポーネントで構成されています。BJM3000の主要な炉は大きい熱質量を特色にし、0から1650°Cまで温度の範囲を提供できます。それに精密な熱制御を提供する独立したパワーレギュレータが付いている二重炭化ケイ素（SiC）の発熱体があります。主炉には、2つの真空ポンプ、不活性ガス入口、およびプロセス雰囲気維持のための排気口が装備されています。拡散部屋は480°Cと1050°Cの間の温度で拡散プロセス動くことができます。このチャンバーには、プロセス材料の供給源となるマルチゾーンクォーツハースプレートが収納されています。クォーツハースプレートは、拡散ガスがプロセスウェーハと均等に相互作用するように設計されています。EUGENE BJM3000の付属ユニットには、ガス分配および注入用のユニットガスボックス、蒸気注入マニホールド、および工程室内のガスと工具の排気の両方のガス洗浄機が含まれています。また、グラフィカルユーザーインターフェイスを備えたリモートモニタリングおよびコントロールコンソールを備えているため、必要に応じて動的な反応調整が可能です。BJM3000は、超低温炉から高温拡散まで、さまざまな最適化されたソリューションを提供しています。その効率的な熱管理は、ハイエンド半導体デバイス生産のための高性能、信頼性、費用対効果の高い拡散ソリューションを提供します。