中古 EUGENE BJM3000 #293587383 を販売中

EUGENE BJM3000は、EUGENE Instruments Companyによって設計および製造された拡散炉およびアクセサリーです。半導体材料のアニーリングとドーピングに最適な高効率、多機能炉です。BJM3000は、強力なガス流循環システムと組み合わされた加熱真空チャンバーを使用して、蒸着プロセスのための均一な熱環境を作り出します。EUGENE BJM3000は容易な維持管理のために設計されています、それをあらゆる実験室または生産の設定のための理想的な選択にします。これは、すべてのプロセスの正確な温度、流れ、および時間制御のための高度でユーザーフレンドリーなコンピューター制御システムを備えています。これにより、拡散プロセスの精度、精度、制御の大幅なレベルが可能になります。BJM3000の設計には、メインプロセスチャンバーに接続された独立した高真空チャンバーが含まれています。プロセス部屋の中で、ユーザーはいろいろな発熱体から選ぶことができます：2つの独立した抵抗要素、2つの単一地帯のマイクロ波源および4つの誘導コイル源。これらのすべての要素は、同時にアクティブにすることができ、所望の温度とフロー制御を提供するために調整することができます。メインプロセスチャンバーには、複数の自動フィーダー、グラファイトサセプター、ウェハローダーなど、さまざまなツールがあります。EUGENE BJM3000には、緊急遮断システム、ゾーン絶縁モニター、ガス圧力センサーなど、多くの安全機能もあります。これらの安全機能により、ユーザーは高温拡散プロセスを安全に実行することができます。BJM3000には、強力な真空システム、サーマルフィルターのペア、バックポンプの選択など、アクセサリーの完全なセットが付属しています。多種多様なチューブ、ポンプ、その他のコンポーネントも含まれています。製品には、包括的なドキュメントとテクニカルサポートも付属しています。EUGENE BJM3000は、高性能で使いやすい拡散炉とアクセサリーを探しているラボや生産施設に最適です。その多機能設計と高度な安全機能は、あらゆる拡散プロセスアプリケーションに最適です。