中古品 ESPEC (拡散炉＆付属品) を販売中

エスペックは、拡散炉の有名なメーカーであり、その性能を高めるためのアクセサリーの範囲を提供しています。拡散炉は、半導体業界で使用されるシリコンウェーハ上に薄い層の材料を作成するために使用される特殊な熱処理装置です。エスペックは、 や など様々な類似物を用いた拡散炉を提供して ます。HPS-220/222は、高純度クオーツチューブを備えた水平高温炉で、複数のウエハに対応可能なバッチ式システムです。それは精密な温度調整および均一性を可能にし、一貫した結果を保障します。一方、PHC-111Mは小規模事業に適した小型の垂直炉です。ユーザーフレンドリーでエネルギー効率に優れ、優れたプロセス再現性を提供します。エスペックの拡散炉にはいくつかの利点があります。精密なガス流量制御システムを備えており、拡散プロセスの均一性を実現しています。温度制御機構により、安定した正確な加熱を実現し、ウェハの変形を最小限に抑えます。プログラム可能なコントローラーは容易な操作およびデータ管理を容易にします。また、ガス配送システム、チューブクリーナー、ガス分析装置など、拡散炉の各種アクセサリーも取り揃えています。これらのアクセサリは、炉の機能性と効率性を高め、半導体製造プロセスへのシームレスな統合を可能にします。結論として、エスペックの拡散炉やHPS-220/222やPHC-111Mなどのアクセサリーは、半導体産業における精密かつ均一な拡散プロセスのための高度な機能を提供します。信頼性、ユーザーフレンドリーな設計、および高性能機能により、半導体製造に最適です。