中古品 ELECTRON THERMAL PROCESSING EQUIPMENT / ETPE (拡散炉＆付属品) を販売中

電子熱処理装置（ETPE）は、最先端の拡散炉とアクセサリーの著名なメーカーです。拡散炉は、材料の高温での熱処理を容易にし、基板への不純物の制御拡散を可能にする半導体業界で不可欠なツールです。ETPEの拡散炉は、進化する半導体メーカーのニーズに応えるための高度な機能と優れた性能を提供します。ETPEによって生産された有名なモデルの1つはQV-300-SCRです。この拡散炉は、精密温度制御、優れたプロセス均一性、および効率的なガス流量管理を兼ね備えています。SCR（シリコン制御整流器）制御システムを搭載し、プロセス全体にわたって正確で信頼性の高い温度制御を提供します。このQV-300-SCRは、優れたウェーハ間ウェーハとロット間の均一性で知られ、一貫した高品質の半導体材料をもたらします。ETPEの拡散炉には、機能性と効率性を高めるためにさまざまなアクセサリーが付属しています。これらの付属品は水晶プロセスチューブ、ガスキャビネット、ガス制御システム、および熱電対を含んでいます。クォーツプロセスチューブは、拡散プロセスにクリーンで堅牢な環境を提供する重要なコンポーネントです。ガスキャビネットおよび制御システムは熱処理の間にガスの正確な配達そして監視を保障します。熱電対は拡散炉の内部の温度を正確に測定し、制御します。ETPEの拡散炉の利点には、高い信頼性、高度なプロセス制御機能、さまざまなウエハサイズや材料に対応する柔軟性があります。これらの炉は、スループットを最大化し、サイクル時間を短縮し、歩留まりを改善し、半導体製造プロセスの全体的な効率を向上させるように設計されています。要するに、ETPEの拡散炉やQV-300-SCRなどのアクセサリーは、電子熱処理装置の最前線にあります。先進的な機能、優れた性能を提供し、半導体メーカーに様々なメリットをもたらし、材料の高品質で効率的な熱処理を保証します。