中古 DSI SD-200 #156913 を販売中

DSI SD-200炉は、製造プロセス中に窒素、アルゴン、水素などのガスをシリコンウェーハに急速に拡散させるために設計された高度な拡散装置です。このシステムは、革新的な4ゾーンゾーン炉の設計を利用して、炉全体にわたって非常に正確な温度制御と均一性を実現しています。これは、ウェーハへのガスの望ましい拡散が一貫した方法で達成されることを保証するのに役立ちます。このユニットはまた、工具全体の温度を安定して均一に保つのに役立ち、拡散プロセスの品質と効率をさらに向上させるユニークな冷却機を提供しています。SD-200拡散炉は、3ゾーン誘導加熱モジュール、電源発電機またはサイリスタ制御のソリッドステートスイッチLCフィルタ負荷を駆動するソリッドステート電源、制御モジュール、およびソフトウェアコントロールパネルで構成されています。3ゾーン加熱モジュールは、独立した温度センサーを備えた3つのユニークな加熱ゾーンを備えています。このアセットを使用することで、各ゾーンの温度を正確に制御することができ、対象物質への熱とガスの拡散を均一に適用することができます。これにより、効率的で一貫した材料拡散が可能になります。このモデルで提供されるソリッドステート電源は、再現性のある信頼性の高い性能を提供するように設計されており、発電機とサイリスタ制御のソリッドステートスイッチングLCフィルタリング負荷の両方に必要な制御電力を供給できるように設計されています。この装置を3ゾーン誘導加熱モジュールとソフトウェアコントロールパネルと組み合わせることで、DSI SD-200拡散装置は正確で反復可能な拡散結果を提供することができます。最後に、システムにはさまざまなアクセサリーとコンポーネントが付属しています。これらには、電力補償器、温度コントローラ、バルビングモジュール、フィルタ、センサー、および不活性充填パイプが含まれます。これらのコンポーネントはすべて、拡散プロセスの精度、再現性、有効性をさらに向上させるために使用できます。SD-200拡散炉は、半導体メーカーに効率的で信頼性の高い拡散ソリューションを提供するように設計されています。高度な部品と制御された加熱モジュールを組み合わせることにより、このユニットは反復可能で一貫した結果を提供することができます。DSI SD-200拡散炉は、革新的な設計と付属のアクセサリを使用して、半導体メーカーに便利で信頼性の高いツールを提供します。