中古 DENGYNG DF-40 #9309231 を販売中

DENGYNG DF-40は、幅広い材料の信頼性の高い低温拡散処理を提供する垂直型拡散炉およびアクセサリーです。この炉は酸化と還元の両方に使用でき、1300°C （2370°F）までの静止または高温範囲で動作できます。DF-40の標準構成は、デュアルステージ設計の垂直チャンバーを備えており、複数のウエハを同時に拡散させることができます。デュアルステージデザインは、加熱されたウェーハ全体にリアクタントを豊富に含んだ加熱ガスを渡し、続いて中性気体の大気中で冷却します。この技術は、プロセスの均一性を可能にし、拡散後の洗浄ステップの必要性を最小限に抑えて排除します。DENGYNG DF-40は、ヘビーデューティロードバスケットにより、最大8個の6インチ（150mm）ウェーハを容易に収納できます。上部チャンバーは直径12インチ（380mm）で、厚さの均一性の高い薄膜に最適です。また、不要なダメージや過熱からプロセスを保護する自動シャットオフシステムも装備されています。拡散炉には便利で読みやすいコントロールパネルがあり、すべてのユーザー設定を一目で確認できます。自動レシピプログラミング機能は、特定のプロセスに必要なパラメータを事前に設定して、迅速かつ簡単に再現することで、ユーザーが時間を節約するのに役立ちます。DF-40はまた温度および生産時間の精密な制御を可能にする2地帯の熱帯の温度調整システムと合います。DENGYNG DF-40の外装には、空気流量調整ピンゲージ、空気入口制御バルブ、デジタルタイマーなど、多くの重要な機能が組み込まれています。さらに、拡散プロセス中の安全性と精度を確保するために、過熱センサと過熱センサの両方が設置されています。両側にセーフティロックが設置されており、鍵でチャンバーをロックすることができます。プロセスがエネルギー効率が良いことを確かめるために、装置はエネルギー消費を減らすのを助けるテフロン絶縁材が装備されています。周波数コンバーターは調節可能で、さまざまな操作時間を可能にします。DF-40は、スリーブ、ガス混合など、さまざまな特定の拡散要件のための様々な他のオプションでも利用できます。全体として、DENGYNG DF-40は、低温拡散処理のための理想的なソリューションを提供し、研究および産業用途の両方のために設計された信頼性と効率的なツールです。操作が簡単で、自己診断システムを備えており、安全性と精度において最高水準を保証します。