中古 DEGUSSA VKSQ 80-80-120 #9003361 を販売中

ID: 9003361
Vacuum furnace Operation temp: 150° C Watercooled: 100° C Capacitance (internal): 11750 L Capacitance (doble coat): 540 L Operating pressure (internal): -1 / +10 bar Operating pressure (doble coat): +1.5 bar Pump 1: VAROVAC S400F Pump 2: RUVAC RA3001 1991 vintage.
DEGUSSA VKSQ 80-80-120は、汎用性の高い3つのゾーン拡散炉とアクセサリ機器です。III-V単結晶や金属セラミックスなどの革新的な材料を製造するために必要なプロセスパラメータを正確に制御できます。この炉は、シリコン源などのリアクタントを加熱されたゾーンに導入してから、1秒間に制御された大気中で処理し、場合によっては3番目の拡散帯でより複雑な化合物を作成することによって動作します。この堅牢に設計された、費用対効果の高い機器は、大量のエネルギーと高価な真空プロセスの使用を排除するのに役立ち、業界で利用可能な最高の歩留まりを提供します。その基本的な部品は、炉本体、タングステン層バンク、空気熱交換器、および排煙口で構成されています。タングステン層バンクは、熱エネルギー源であり、空気熱交換器は、材料チャンバーにプッシュされる前に、着信酸素、窒素、またはアルゴンを予熱しながら、高温で材料チャンバーを焙煎します。次に、排煙口は一連の二次バーナーやその他の制御材料を使用して、チャンバーからの熱エネルギーを排出します。VKSQの他のコンポーネントには、メインヒーティングチャンバー、絶縁ライナー、温度測定システム、および自動温度制御ユニットがあります。主要な部屋は高められた拡散を促進する大きい容積および多数の暖房地帯を特色にします。シリコンソースは、高温耐性バルブを介してチャンバーに確実に導入されます。絶縁材はさみ金は部屋を絶縁する保護層を提供し、温度測定機械は温度をリアルタイムで追跡する非常に敏感な温度センサーが装備されています。最後に、高度な温度制御ツールは、ユーザーの事前設定された仕様に従って自動的に温度を調整します。DEGUSSA VKSQは、温度安定性とプロセスの柔軟性を備えた優れた結果を提供するように設計されており、大きなコスト削減と材料の廃棄量の削減に役立ちます。それは長期使用法のための高温熱に抗するように設計されている非常に信頼でき、耐久装置です。
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