中古 CHIYODA ELECTRONICS ACS-650 #9352553 を販売中

CHIYODA ELECTRONICS ACS-650拡散炉は、信頼性の高い結果と正確な温度制御を提供するために設計された最先端のツールです。金属材料や半導体材料を基板上に堆積させるためによく使用され、半導体研究やプロセス開発の範囲を可能にします。この炉は、薄膜成膜やドーピングなどのアプライアンス用の安定した制御プラットフォームのための堅牢な設計を特徴としています。ACS-650拡散炉には、最大動作温度範囲1750°Cで最大600mmの材料を保持できる単一のるつぼ室が装備されています。部屋の内部の部品は安全で、有効な環境を保障するために高級な電気炉材料から組み立てられます。また、簡単にアクセスしてメンテナンスするためのオープンなデザインを備えています。CHIYODA ELECTRONICS ACS-650の高度な制御システムは、温度プロファイルコントローラ、リアルタイムレシピ、データロギング、クリープバランシングシステムなど、多くの高度な機能を提供します。プロファイルコントローラを使用すると、最適化されたアプリケーションや材料レシピ用にカスタマイズされた温度プロファイルを作成して保存できます。リアルタイムレシピ機能により、ユーザーは可能な限り最良の結果を得るために正確な温度プロファイルを作成、保存、およびリコールできます。データロギングシステムを使用すると、温度プロファイルのデータを追跡および保存して、後で比較および分析を行うことができます。クリープバランシングシステムは、周期動作中に温度が範囲内にとどまることを保証し、精度を向上させます。ACS-650はまた、そのパフォーマンスをさらに高めるために、アクセサリーの範囲を装備しています。炉のふたは光源および容易なプロセス監視のためのカメラが付いている位置窓を含んでいます。家具セットはつぼカバー、つぼの上昇、つぼの三脚、および横のバッフルディスクから成っています。るつぼカバーを使用して汚染から保護することができますが、るつぼリフトはるつぼへの簡単なアクセスを可能にします。水平バッフルディスクは、より大きな制御と精度のためにチャンバーの1つの部分に材料を維持するのに役立ちます。また、千代田エレクトロニクスのACS-650には、プロセス中のガス流量を精密に制御するための高精度ガスフローメータと、漏れ検出・安全装置を備えた特別な「CEA」準拠のガスシステムが含まれています。統合された安全システムは、電力またはN2フローが失われた場合に自動的にシャットオフすることができます。ACS-650拡散炉は、半導体研究とプロセスのための優れたツールです。CHIYODA ELECTRONICS ACS-650は、堅牢な設計、高度な制御システム、さまざまなアクセサリにより、信頼性の高いユーザーフレンドリーなソリューションです。