中古 CETC SYQ-150TS #9076766 を販売中

CETC SYQ-150TSは、半導体業界の高温動作用に設計された拡散炉および付属アクセサリーです。この製品の特徴は、高温耐久性、温度の均一性、および一貫した結果を含みます。炉の穴は2,800˚Cまで高温への抵抗を提供し、不活性および非腐食性である豊富なカーボン基材グラファイトからなされます。さらに、グラファイトボアは金属よりも熱衝撃に耐性があります。また、ミクロンの精度を確保するために、ボアも正確に加工されています。拡散炉は、強制空気対流ファンを備えた空冷を使用して、冷却性能が最高の性能に最適であることを保証します。空冷システムは±2˚Cの温度の均等性を維持します。オーブン加工エリアは温度が均一で、2,200˚Cまで加熱できます。その温度上昇率は20˚C 40˚C/minであり、温度のリアルタイム読み出しを示すデジタルディスプレイを備えています。フロントパネルには、ユーザーがプロセスに適切な温度を簡単に設定できるコントローラもあります。加熱機構は4ゾーンの加熱素子で動作し、ユーザーはそれぞれの加熱ゾーンを個別に制御できるため、温度プロファイルを最適化できます。4ゾーン加熱により、処理領域全体にわたって温度の均一性が維持されます。それはまた基質を均一な温度で保ち、ホットスポットの形成を防ぐのを助けます。ボトムハースはウェーハの搬送に使用され、熱分解を防ぐ耐熱材料で作られています。セラミック水冷ボトムハースは、ウェーハやパッケージ材料の変色を防ぐように設計されており、ユーザーはウェーハを過熱するリスクなしに高温動作を行うことができます。さらに、SYQ-150TSには国際規格のコンプライアンス圧力レギュレータが装備されており、必要に応じて炉を減圧することができます。圧力調整装置は炉が過剰に加圧することを防ぎ、炉が過度に熱くなる可能性があります。これらの機能に加えて、CETC SYQ-150TSには、チューブ炉、石英管、等熱シールド、およびその他のさまざまなツールなどのさまざまなアクセサリーが付属しています。SYQ-150TS拡散炉と付属のアクセサリーは、精度と均一性を備えたさまざまなプロセスを実行するように設計されています。