中古 CENTROTHERM E2000 HT 300-4 #9102861 を販売中

CENTROTHERM E2000 HT 300-4は、半導体、オプトエレクトロニクス、および関連技術を製造するために特別に設計された拡散炉およびアクセサリーです。前処理のための制御された雰囲気を持つシングルゾーン加熱炉です。この炉システムは信頼できる処理条件を提供するためにさまざまな温度、時間および圧力条件の下でテストされます。CENTROTHERM E2000HT 300-4は最大動作温度1050°C、詰め替えレートは2 g/minです。この拡散炉は、温度の均一性と堅牢性を向上させるステンレス製のチャンバーで構成されています。また、調整可能な流量、高速加熱速度、および堅牢な電気バックフィリングユニットを備えています。ユニバーサル電源では、110/240 VAC 50/60 Hzを含む既存の電源を使用できます。さらに、温度と圧力の異なるガス混合機能を内蔵しています。E2000-HT 300-4は、精密な温度均一性と処理実行間の高い再現性を提供するため、熱アニーリングに理想的な機械です。ウェハベースとパネルレベルの両方の処理に適しています。また、複数の基板のサイズや形状にも対応できます。拡散炉には、難燃金属ケース、調整可能なガスバック充填ツール、機械ラック、高温絶縁メスコネクタなど、さまざまなアクセサリーも含まれています。E2000 HT 300-4はドーピング、拡散、アニーリング、および他の熱プロセスのために非常に適している多目的で、信頼できる装置です。これにより、すべてのプロセスを単一のチャンバーで完了させ、高度な均一性を保証します。さらに、操作とメンテナンスが容易で、バッチとバッチレスの両方のシステムに正確で信頼性の高い再現性のある結果を提供します。