中古 CENTROTHERM E2000 HT 410-4 #9266276 を販売中
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ID: 9266276
ヴィンテージ: 2011
PECVD System
Includes:
J&R Loader / Unloader
(4) Pumps and scrubbers
2011 vintage.
CENTROTHERM E2000 AP HT 410-4は、研究用および産業用グレードのアプリケーション用に特別に設計された拡散炉およびアクセサリです。4つの側面設計は、電気加熱素子と均一な分布を組み合わせ、ウェーハレベルの処理のための高精度な温度制御を保証します。CENTROTHERM E2000 HT 410-4は、低消費電力で高温性能と迅速な加熱/冷却速度を提供します。独立して制御された4つの加熱ゾーンを備えており、柔軟性と高いスループットを実現します。CENTROTHERM E2000HT 410-4は、グラフィカルに生成されたメニューを備えた直感的なタッチパネルディスプレイで設計されており、簡単な設定と操作が可能です。耐圧防爆アルミニウム部屋は低い維持を安全で、信頼できるプロセス環境に与えます。その堅牢な設計は、ホットスポットの蓄積を避けながら、チャンバー全体で均一な加熱を保証する低熱質量石英炉ホットゾーンを特徴としています。ユニットには、ヒーターがチャンバーを閉じて点火した場合の自動シャットダウンなどの安全機能も装備されています。E2000-HT 410-4は汎用性が高く、他のオートメーションまたは制御システムと容易に統合され、カスタマイズされた構成を可能にします。それは統合された温度調節器、急速な暖房/冷却装置、統合された持ち上がるメカニズムおよび取り外し可能な冷却棚から成っています。この便利な設計により、プロセスエンジニアは外部の加熱/冷却システムを必要とせずに高度なプロセスを開発することができます。E2000 HT 410-4は、ウェハレベルの生産アプリケーションに最適な信頼性と軽量の拡散炉です。E2000HT 410-4は衝撃および振動抵抗力があり、材料の分散の広い範囲と正確な処理を提供するように設計されています。ソフトウェア制御の窒素パージにより、E 2000 HT 410-4は機能調査のために酸素を含まない大気を提供することができます。CENTROTHERM E2000-HT 410-4の堅牢な構造により、高品質の結果、耐久性、低消費電力を保証します。さらに、その適応性により、さまざまなプロセスや産業用アプリケーションのための幅広い設定と材料構成が可能になります。
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