中古 CENTROTHERM E1550 HT 320-4 #9131102 を販売中

ID: 9131102
ヴィンテージ: 2001
Furnace (4) Stacks Tube 2: LP-CVD Silicon nitride Tube 3: POCL3 N Doping Tube 4: Anneal with steam generator Tube 1: Not configured Spare parts: Heating cassette (2) Toxic gas cabinets EBARA AAS 100 WN Dry pump CENTROTHERM Scrubber unit Heating element VAT Controller PL3 Sublimation trap Nitride manifold EBARA Pump Nitride pipework Main vacuum valve SCHUMACHER Bubbler VAT Butterfly valve VAT Butterfly valve control (2) Process tube doors Quartzware Process tubes Doors CENTROTHERM Host controller Tube main screen (3) MFC Water flow meter Digital 380 UTS8 temperature controller / Monitor 5 V / 24 V PSU Berghof automation paddle controller Pneumatic door piston Various valves Relays Bearings Manuals 2001 vintage.
CENTROTHERM E1550 HT 320-4は、CENTROTHERMの高温拡散炉とアクセサリーです。この強力な装置は、あらゆる種類の半導体アプリケーションで優れた拡散均一性とプロセス再現性を提供するように設計されています。HT 320-4 E1550、高度な特許取得済みの大気温度制御技術で動作し、拡散プロセス中にチャンバー全体に均等に熱を広げます。1950°Cまでの広い温度範囲と4インチホットゾーンを備え、ワークの迅速かつ効率的な熱処理を可能にします。さらに、CENTROTHERM E1550 HT 320-4には、追加の利便性を提供するアクセサリの範囲があります。これらには、ヒートシールド、表示窓、人間工学に基づいたテーブルトップスタイルの炉ベースが含まれます。ヒートシールドは熱衝撃から繊細な部品を保護するように設計されていますが、窓はプロセスの目視検査を可能にします。炉の基盤は人間工学的に炉を支え、安定した、安全な操作を可能にするように設計されています。E1550 HT 320-4は、さまざまな高温拡散用途に適した最先端の拡散炉です。大きな4インチホットゾーン、1950°Cまでの広い温度範囲、高度なプロセスの均一性と再現性を備えています。さらに、操作中の利便性と保護を向上させるために、アクセサリーの範囲が装備されています。高度な技術、信頼性の高い性能、堅牢な設計により、CENTROTHERM E1550 HT 320-4はあらゆる拡散プロセスに最適です。
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