中古 CENTROTHERM E1550 HT 320-4 #9131102 を販売中
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ID: 9131102
ヴィンテージ: 2001
Furnace
(4) Stacks
Tube 2: LP-CVD Silicon nitride
Tube 3: POCL3 N Doping
Tube 4: Anneal with steam generator
Tube 1: Not configured
Spare parts:
Heating cassette
(2) Toxic gas cabinets
EBARA AAS 100 WN Dry pump
CENTROTHERM Scrubber unit
Heating element
VAT Controller PL3
Sublimation trap
Nitride manifold
EBARA Pump
Nitride pipework
Main vacuum valve
SCHUMACHER Bubbler
VAT Butterfly valve
VAT Butterfly valve control
(2) Process tube doors
Quartzware
Process tubes
Doors
CENTROTHERM Host controller
Tube main screen
(3) MFC
Water flow meter
Digital 380 UTS8 temperature controller / Monitor
5 V / 24 V PSU
Berghof automation paddle controller
Pneumatic door piston
Various valves
Relays
Bearings
Manuals
2001 vintage.
CENTROTHERM E1550 HT 320-4は、CENTROTHERMの高温拡散炉とアクセサリーです。この強力な装置は、あらゆる種類の半導体アプリケーションで優れた拡散均一性とプロセス再現性を提供するように設計されています。HT 320-4 E1550、高度な特許取得済みの大気温度制御技術で動作し、拡散プロセス中にチャンバー全体に均等に熱を広げます。1950°Cまでの広い温度範囲と4インチホットゾーンを備え、ワークの迅速かつ効率的な熱処理を可能にします。さらに、CENTROTHERM E1550 HT 320-4には、追加の利便性を提供するアクセサリの範囲があります。これらには、ヒートシールド、表示窓、人間工学に基づいたテーブルトップスタイルの炉ベースが含まれます。ヒートシールドは熱衝撃から繊細な部品を保護するように設計されていますが、窓はプロセスの目視検査を可能にします。炉の基盤は人間工学的に炉を支え、安定した、安全な操作を可能にするように設計されています。E1550 HT 320-4は、さまざまな高温拡散用途に適した最先端の拡散炉です。大きな4インチホットゾーン、1950°Cまでの広い温度範囲、高度なプロセスの均一性と再現性を備えています。さらに、操作中の利便性と保護を向上させるために、アクセサリーの範囲が装備されています。高度な技術、信頼性の高い性能、堅牢な設計により、CENTROTHERM E1550 HT 320-4はあらゆる拡散プロセスに最適です。
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