中古 CENTROTHERM E1550 HT 260-4 #9260101 を販売中
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ID: 9260101
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2016
Horizontal furnace, 6"
(4) Stacks
(4) Tubes configuration:
LPCVD LTO-PSG
LPCVD HTO
POCl3 Diffusion
Wet oxidation
Heating element: 100-600°C
Flat length: 600 mm
Diameter: 260 mm
(5) Heating zones
Heating element: 400°C-1050°C
Flat length: 600 mm
Diameter: 260 mm
(5) Heating zones
(2) Heating elements: 600-1300°C
Flat length: 600 mm
Diameter: 260 mm
(5) Heating zones
Furnace cooling system: Integrated gas system for DCS: HTO / TEOS process
(3) Standard cooling systems:
Tube closed cycle water cooling system
CENTROTHERM Machine Interface (CMI)
Graphical user interface
(4) Furnace control systems (Field bus: CAN)
(4) Temperature measurements
(4) REG 97 Temperature controllers
Fuzzy enhanced PID control
(4) Cascade temperature controls
(4) Profiling elements
For (5) zone heating elements: Type R
Security system CMS
Independent for up to (4) tubes
Automatic pressure tightness system for closed tube systems
Scavenger
(2) Tube closures
Closed tube for soft landing system
Vacuum door for soft landing system
(4) Tube loading systems:
For soft landing process boat
Gas system cabinet GVS
With main gas lines for N2, O2, H2, SiH4, SiH2Cl2, PH3, N2O
Gas / Vacuum system: LPCVD: LTO-PSG
Gas lines: N2, SiH4 (Rear), PH3 (10% in Ar) (Front, rear), O2 (Front, rear) without vacuum pump
Gas / Vacuum system: LPCVD: HTO
Gas lines: N2, SiH2Cl2 (front, rear), N2O (front, rear), without vacuum pump
Gas system: POCL3 Diffusion
Gas lines: N2, N2 (POCl3), O2, O2 (High)
Gas system: Wet oxidation (Hydrox - ext. torch, DCE – TransLC)
Gas lines: N2, O2, H2, N2O, N2 (DCE), O2 (DCE)
Laminar flow system:
For vertical flow
Process boat lift
Without storage and controlling computer, 6"
Process boat storage
Storage positions plus one manual loading storage, 6"
Loading port
Process boat transfer system
Flat aligner
Power supply: UPS10
No auxiliary equipment
2016 vintage.
CENTROTHERM E1550 HT 260-4拡散炉は、さまざまなバルク結晶成長プロセス用に設計されたプロフェッショナルグレードの装置です。これは、ヒ素ガリウム、シリコン、窒化物などの大規模な成長のために高温を必要とする材料に最適です。この4ゾーン炉は、最大1300°Cの温度に達することができ、ガス供給または直接接触加熱用に設計されています。炉の中央部分はチェーン駆動の回転炉で構成されており、4つの加熱ゾーンがあります。これらのそれぞれは、材料の体積全体にわたって正確な温度制御のために独立して制御可能です。4つの加熱ゾーンは、エネルギー源としてガスまたは電気発熱体のいずれかで動作することができます。ガス供給装置は、それぞれの加熱ゾーンへの燃料ガスの流れを制御する3方向バルブで構成されています。さらに、CENTROTHERM E1550は、高速冷却のための内熱ガスインジェクションシステムを備えています。この炉には、ゾーンごとに独立したスタックファンを備えた2段の再循環エアユニットが含まれています。ファンは、バルク冷却だけでなく、材料全体の体積全体にわたって加熱するための熱風の循環を提供します。インラインの非常停止ボタン、可聴および視覚警報、および炎の監視の熱電対のような付加的な安全特徴は機械の安全をさらに高めます。HT 260-4拡散炉E1550ガスおよび電気接続、および詳細な操作手順が付属しています。最適な性能と効率のために、耐火物、配管、その他の補助機器を含むサポートアクセサリのCENTROTHERMマッチングスイートとのペアリングをお勧めします。これらの付属品は炉の発火変数のさらに精密な制御を可能にし、あなたの仕事が良質であることを保障します。結論として、CENTROTHERM E1550 HT 260-4拡散炉は、さまざまなバルク結晶成長プロセスに最適です。その高度な機能と包括的な安全システムは、高温と正確な制御を必要とするあらゆるアプリケーションに最適なデバイスです。
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