中古 CENTROTHERM E 240 #293622222 を販売中

CENTROTHERM E 240は、中型半導体製造アプリケーション向けに特別に設計された拡散炉およびアクセサリパッケージです。優れた均一性とパーティクル制御により、迅速で費用対効果の高いウェーハ加工を提供します。E 240は、温度制御された垂直方向の水平方向の炉チャンバーで構成され、硬いステンレス製のベースに取り付けられています。部屋に熱絶縁された合金の壁およびドアがあります。環状SiC発熱体はサイドウォールにダイキャストされ、耐火ベースラインは高い熱均一性を保証します。チャンバー全体が真空密閉されており、粒子のない環境を保証します。炉のドアは制御装置に電子的に連結されています、操作の間の最高の安全を保障し、制御機能の広い範囲を提供します。このシステムは、熱暴走、プロセスオーバーシュート、オーバーテンプを防ぐための電子自己保護装置も備えています。チャンバー壁の熱質量が少ないため、高速で効率的なランプレートが可能であり、一部のアプリケーションではプロセス時間を3分に短縮できます。精密な温度制御により、ウェーハレベルで+/-1degCの温度均一性を備え、均一で反復可能な処理が可能です。新しい高効率パージユニットは、急速なサーマルサイクル時間と均一に低い酸素レベルを提供します。プロセス時間が大幅に短縮され、所有コストも低くなり、CENTROTHERM E 240の購入をさらに正当化します。E 240の高度な制御機械は、複数のプログラムステップ、シングルランとグループラン、各ステップでユーザー定義のドウェルタイムで地域化された加熱と冷却を含む、洗練された制御モードの範囲を提供します。明確で直感的なユーザーインターフェイスは、操作をさらに簡素化し、ツールが正確に何をしているかを知ることに伴う安心感を提供します。さらに、CENTROTHERM E 240には、プログラマブルウェーハホルダー、クォーツボート、ウェーハプレート、温度センサー、圧力タップ、排気バルブなどの包括的なアクセサリーが付属しています。これらのすべてのコンポーネントは、全体的なパフォーマンスの最高レベルを保証し、維持します。E 240は、中型および大容量の半導体製造プロセスに最適です。それは速いサイクル時間、優秀な温度調整および優秀な粒子制御を、あらゆる生産環境で所有権を魅力的にさせる操作の容易さおよび低い所有権の費用とすべて提供します。