中古 CENTROTHERM E 240 #163732 を販売中

CENTROTHERM E 240は半導体製造用に設計された拡散炉です。これは、熱酸化、気相表面活性化、半導体層の分散を単一のサイクルに結合します。ユーザーフレンドリーでモジュラー設計により、短いサイクルタイムと極端なプロセス制御が可能です。炉は1250°Cの最高の実用温度の密封された、水晶封じられたホットゾーンから、成っています。これは、高度なプロセス制御機器と自動ローディング/アンローディングシステムの数が装備されています。主要な炉に加えて、E 240は基質の表面の活発化、ガス配分および温度調整のための多数の専門にされた用具そして付属品を含んでいます。これらには、高速ガス供給ポンプ、高精度ガス計量、複数のガス分布マニホールド、高度なガス流量コントローラが含まれます。また、過熱警報、非常停止機能、極端な温度変化に備えてホットゾーンを保護する自動シャットダウン機能など、多くの安全機能を備えています。自動ローディングおよびアンロード・システムは、継続的またはユーザー定義のパラメータ下で動作するように設定できます。速いサイクル時間および温度の均等性はほぼ完全な操作および結果を保証します。CENTROTHERM E 240は、大量生産および製品開発にも適しています。プロセスの自動化、大容量、効率的なガス供給により、高い製品スループットと歩留まり率が保証されます。自動ロードおよびアンロード・システムは、構成可能なプロセス監視とともに、ユーザーはダウンタイムを最小限に抑えながら、予測可能な生産スケジュールを維持することができます。要するに、E 240はユーザーに最高の信頼性と制御を提供し、高性能な生産を可能にします。モジュール設計により、個々のプロセス要件に合わせてカスタマイズでき、費用対効果の高い拡散炉ソリューションをユーザーに提供します。世界をリードするテクノロジー企業の多くは、CENTROTHERM E 240の重要な拡散プロセスを信頼しています。