中古 CENTROTHERM Centronic E2000 #293750290 を販売中

CENTROTHERM Centronic E2000は、半導体産業における産業用に設計された拡散炉およびアクセサリ装置です。システムは、集積回路の生産における部品の制御製造プロセスに不活性ガス大気技術を使用しています。ユニットは、統合されたガス供給機で動作する自己完結型モジュール内のコンポーネントで構成されています。高温耐性ファン、浸食シールド、再循環ツールからなる高度なホットゾーン構成を備えています。この技術は、最高の均一な熱配分を確保し、製造コストを削減するように設計されています。2つの並列フロースプリットボックスチャンバー間の電子E2000。拡散部には、2000Cまでの温度制御が装備されています。アクセサリー部分は、クォーツチューブ、ウェーハハンガー、ガス入口温度調整器で構成され、安全なガス供給を実現しています。アセットは、各チャンバーに最大60個のウェーハを取り扱うことができます。E2000モデルは、予防メンテナンスを可能にする診断機能とアラームシステムの配列を備えた低メンテナンスのために設計されており、これにより最高の機器稼働時間を確保します。また、高温均一性と温度振動低減を実現し、プロセス効率を向上させるための動作時間を短縮します。E2000ユニットは産業用に設計されており、インターロック、制御システムと安全システム間の相互接続、不活性ガス搬送機リークアラートツール、ガス圧力検出資産、監査モデルなどの安全パッケージが付属しています。これにより、製造されている技術者と部品の両方にとって最高レベルの安全性が保証されます。E2000の他の機能には、高度なPLCプログラミングと簡単な操作のためのグラフィカルユーザインタフェースタッチスクリーンディスプレイ、真空装置、パージシステム、ヘリウム/窒素供給システムなどのプロセス要件に基づいた二次システムの選択が含まれます。ユニットは、より高いレベルのガス純度を要求する操作のためにカスタマイズすることができます。全体として、CENTROTHERMのCentronic E2000機は、信頼性とコスト効率に優れた工業製造プロセスに最適です。カスタマイズされたオプション、高度な安全機能、統合されたガス配送ツールにより、製造ニーズに合わせて信頼性の高い長寿命の拡散炉を提供することができます。