中古 CENTROTHERM Centronic E1200 HT260-3 #65626 を販売中
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ID: 65626
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2001
LPCVD diffusion furnace, 6”
3-Stack
Set up for: nitride, low-temperature oxide, and insitu low-temperature poly
Toxic gas exhaust
Control cabinet
Gas cabinet
(2) Quartz tubes
Spare parts
CE Marked
3rd position configured with heaters, no tubes
Internal diameter of the quartz tube: ~245mm (9-5/8")
Software:
IBM OS/2 warp V4 OEM preload
IBM Assy for PC ASS UK media pack WAR 0400 P/N: 65H1169A
Spare parts included in several boxes:
Flanges
Fittings
Parts for assembly of the system
Additional items available :
Ammonia purifier system (this may be part of the furnace system as the drawing does show a scavenger)
(2) Edwards Q61-51-006 dry pumps
Used Air products gas guard cabinets for:
Dichlorosilane (2 bottles + N2)
Silane (2 bottles + N2)
Ammonia (2 bottles + N2)
5% Phosphine & Nitrogen (2 bottles + N2).
No loading system
No Computer
No vacuum pumps
48 kW, 0 A, 50 Hz
Crated
2001 vintage.
CENTROTHERM Centronic E1200 HT260-3は、シームレスで効率的で信頼性の高い動作を提供するように設計された拡散炉とその付属品です。この炉は、優れた材料で作られたモリブデン発熱体を備えており、最高の性能を発揮します。これにより、処理される基板の長寿命と一貫した均一な温度が保証されます。Centronic E1200は、急速かつ効率的な冷却速度を保証し、エネルギー消費を削減し、赤外線プロセスの効率を向上させます。これは、わずか30分で1350°Cの最大加熱温度に達することが可能であり、温度の迅速かつ正確な増加または減少を保証する毎分8°Cの最大ランプレートを持っています。Centronic E1200 HT260-3は、設置面積が小さく、スペース効率が高く、ほぼすべての環境に適合しています。この炉には不活性ホットゾーンが装備されており、危険ガスや媒体の処理に適しています。それは2部分の真空によって密封されるドアを支え、良質およびきれいな基質を毎回保障するためにすべての粒子および汚染物を取除く優秀なろ過システムがあります。Centronicはまた、ユーザーフレンドリーで手動で制御できる統合されたPoint-to-Pointコントローラを備えているため、オンボードタッチスクリーンインターフェイスを介して簡単に操作およびプログラムできます。これにより、ユーザーはさまざまなターゲット温度、時間を設定でき、一貫性のあるレプリケーションを確実に行うためにプロセスを追跡することができます。炉には柔軟な移植システムがあり、異なる冷却および排気システムのような複数のデバイスやアクセサリに接続することができ、プロセス中に排出される発煙の安全かつ適切な処分を保証します。また、さまざまな電源と調整し、不要なエネルギー消費を削減する機能を備えています。堅牢なビルド、優れた性能、精度を備えたCENTROTHERM Centronic E1200 HT260-3は、さまざまな基板を拡散するための理想的な選択肢です。それは優秀な温度調整および速度の機能の実験室のテスト、処理および生産のために完全です。
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