中古 CENTROTHERM Centronic E120 HT 260-4 #9060232 を販売中

CENTROTHERM Centronic E120 HT 260-4は、化学蒸着により高品質のセラミック部品を製造および加工し、性能を最適化するために使用される拡散炉およびアクセサリーです。2Dおよび3Dチップ構成、ゲート、コンタクト、レンズ、薄膜誘電体、および要求の厳しい半導体および特殊デバイス用のマイクロ波パッシブを作成するのに理想的なツールです。Centronicの最適化された熱制御ゾーンは、高性能ゾーンと低温ゾーンで構成されています。これは、シリコンカーバイド（SiC）抵抗加熱素子とスライディングフードを備えており、堆積物を正確に調整するための活発な酸化と還元サイクルを実行します。その温度のプロフィールは+/-1°Cの精密の1000°Cまでプログラム可能です。さらに、炉のホットゾーンの容積は50リットルであり、サセプターによって吸収可能な最大重量力は100kgです。Centronicのコントローラとソフトウェアにより、ガス流量、チャンバー圧力、η、サセプター温度、さらにはラック翻訳など、あらゆるサイクルですべてのパラメータを完全にデジタル監視できます。この機器には、アダプティブ熱制御システム（ATC）が含まれており、サセプターおよび炉部品の温度を監視、文書化、管理し、すべてのプロセスで精度と安定性を確保します。この炉は、処理中にリアクタントを供給するためのin-situ気化器を含む、統合されたガス供給分配および貯蔵ユニットを提供しています。この機械は漏出を防ぎ、効率を最大限に活用する弁、プログラム可能な流れラインおよび避難の機能が装備されています。安全性を確保するために、CENTROTHERMは緊急停止ボタン、真空スイッチ、および正シール用のガスケットドアシールもしっかりと備えています。さらに、さまざまなアプリケーションの構成を指定するために、いくつかのツール構成が利用できます。Centronicは、効率的で経済的な動作を目的として設計されており、半導体および特殊デバイスの生産に必要な最高品質の結果を提供します。全体として、Centronic E120 HT 260-4拡散炉とアクセサリーは強力で信頼性の高い加工ツールであり、優れた温度制御と高性能セラミック部品の精密かつ効果的な生産のための統合ガス供給資産を提供します。