中古 CENTROTHERM C.Oxidator 150-50 #293831541 を販売中

CENTROTHERM C.Oxidator 150-50
ID: 293831541
Oxidation furnace.
CENTROTHERM C。Oxidator 150-50は、半導体材料の精密かつ効率的な熱処理のために設計された最先端の拡散炉およびアクセサリーです。この先進的な装置は、半導体製造の酸化プロセス用に特別に設計されており、最適な結果を保証するために高度な制御と一貫性を提供します。C。Oxidator 150-50の中心に酸化、アニーリングおよび拡散のようなさまざまな熱処理のステップのための制御された環境を提供する高性能の拡散炉の部屋があります。チャンバーは、これらのプロセスに関与する高温および腐食性ガスに耐えることができる高品質の材料で構築され、長期的な信頼性と性能を確保します。C。Oxidator 150-50は、チャンバー全体に均一な温度分布を提供する堅牢な加熱システムを備えており、酸化プロセスを正確に制御できます。これは、処理中の半導体ウェーハ全体で一貫した膜厚と品質を確保するために不可欠です。加熱ユニットは、エネルギー消費を最小限に抑えながら酸化に必要な高温を達成するように設計されており、効率的で費用対効果の高い機械です。C。Oxidator 150-50は、高度な加熱ツールに加えて、洗練されたガス供給アセットを備えており、チャンバーへの酸化ガスの導入を正確に制御できます。これにより、ガス流量、圧力、組成などの酸化プロセスパラメータを正確に制御し、再現性の高い結果と高いプロセス再現性を保証します。C。Oxidator 150-50の性能をさらに向上させるために、このモデルには、オペレータが簡単にプロセスパラメータを設定および調整できる包括的な制御および監視装置が装備されています。ユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、温度、ガスの流れ、圧力などの主要なプロセス変数をリアルタイムで監視でき、必要に応じてプロセス条件を迅速に調整および最適化できます。C。Oxidator 150-50は、安全性と信頼性を念頭に置いて設計されており、オペレータや機器を潜在的な危険から保護するための高度な安全インターロックとアラームを備えています。このシステムは、業界標準および規制に準拠して構築されており、半導体製造設備の安全で信頼性の高い動作を保証します。主要な炉の部屋に加えて、C。Oxidator 150-50は機能性および機能を高めるためにさまざまな付属品および選択を装備することができます。これらには、追加のガス供給モジュール、ウェーハハンドリングシステム、および現場監視ツールが含まれ、特定のプロセス要件とアプリケーションのニーズを満たすようにカスタマイズできます。CENTROTHERM C。Oxidator 150-50は、半導体の酸化プロセスに精密な制御、高性能、および信頼性を提供する最先端の拡散炉ユニットです。その高度な機能と機能は、高品質で一貫した生産プロセスの結果を達成しようとする半導体メーカーにとって理想的な選択肢です。
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