中古 CENTROTHERM Activator 150 #293814126 を販売中
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CENTROTHERM Activator 150は工業的に設計された拡散炉で、スペースを最小限に抑えた高スループット処理が可能です。バッチごとに最大150個のウェーハを処理できるように設計されており、拡散、酸化、窒化、脱気などのさまざまな用途に適しています。炉は密封されたステンレス鋼の部屋と造られ、50 cmの活動的な暖房地帯の長さがあります。また、熱絶縁されており、2ゾーンのインナーベルモード加熱装置(セラミック断熱器を備えたゾーンとアクティブ加熱素子を備えたゾーン)が、均一性と温度制御の精度を兼ね備えています。炉内の温度帯の均一性は900°Cで± 2°Cです。高度なIRエンドポイント検出システムのおかげで、コントローラは温度を測定し、これをエンドポイントとして使用します。Activator 150には高度な積み下ろしシステムが装備されており、効率的で安全な材料除去が可能です。独自のHi-Touch Xpressローディング/アンローディングユニットは、ウェーハ処理の迅速化に最適で、約40秒でアンロード時間を平均化できます。炉はまた、安全性を念頭に置いて設計されています-機械には、アクティブ冷却技術、高度なnooxid濾過ツール、一酸化炭素モニタリングメカニズムが含まれています。各資産は、最高水準の製品の完全性を確保しながら、最大限のオペレータの安全性を提供するように設計されています。CENTROTHERM Activator 150は、用途に合わせて設計されたさまざまなアクセサリに支えられており、機能の向上と柔軟性の向上を実現します。アクセサリーの広い範囲(ハイフロー冷却モデル、グリコルサイクル装置、冷気キャッピングシステムを含む)は、アクティベーターを使用できるアプリケーションの範囲を広げます。全体的に、Activator 150は、設計の中心に安全性と精度を備えた幅広い材料の工業加工用の高性能拡散炉です。工業グレードユニットの堅牢性と、カスタムビルトモーションマシンの柔軟性と効率性を兼ね備えているため、多くの業界のメーカーにとって理想的な選択肢です。
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