中古 CENTROTHERM 5 #184929 を販売中

CENTROTHERM 5は、半導体およびエレクトロニクス業界の産業用途を処理するために使用される拡散炉およびアクセサリパッケージです。インラインガスパネル、デリバリーロボット、不活性ガスパネル、高圧拡散を備えています。インラインガスパネルにより、最大8種類のガスの制御が可能です。このガスパネルは、大きなダイナミックレンジで一貫したガス圧力を維持するように設計されています。さらに、パネルは背圧の危険なしで流れの保証を可能にします。不活性ガスを使用して最大4つの材料を堆積できるデリバリーシステムを提供しています。ロボットは、最高の精度と精度制御を提供するように設計されています。また、高精度な蒸着を実現するオンボードビジョンユニットを搭載しています。不活性ガスパネルは、高圧拡散システムの非反応的な大気を確保するように設計されています。このパネルは、ガスミックス中の一般的な要素の比率を制御することにより、炉の動作に信頼性の高いガスバリアを提供することができます。高圧拡散のために、5は1500 mbarまでの制御されたプロセス圧力を可能にする真空管が装備されています。マシンはまた、分離と貯水池の管理のためのオープン領域のセットを持っています。ツールの柔軟性を高めるために、幅広いオプションのアクセサリーも提供されています。プロセス制御と安全性を確保するため、CENTROTHERM 5は監視システムと統合されています。モニタリングシステムには、温度コントローラとサーマルプロファイル管理アセットが含まれており、ユーザーは拡散プロセス全体を監視できます。また、ST-Watchインターフェイスを備えており、機器全体のリアルタイムデータを提供します。5は半導体および電子工学工業の非常に信頼できる処理適用のための理想的な拡散炉および付属品パッケージです。このシステムは、高精度で一貫した結果を処理することができる幅広い機能を備えています。CENTROTHERM 5は、プロセスパラメータを管理および制御する機能を備えており、産業アプリケーションの信頼性の高い結果をユーザーに提供できます。