中古 BRUCE / BTU BDF-4 #9245270 を販売中
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ID: 9245270
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1984
Oxidation / Diffusion furnaces, 6"
4-Stacks
Right to left
In-line style source cabinet
Spare parts included
Stainless steel exhaust scavenger
Stainless steel gas manifolds
With regulators
Filters
Manual valves
Gases:
N2 30 SLM UFC 2000
H2 40 SLM UFC 2000
O2 20 SLM UFC 2000
HCL 2 SLM UFC 2000
Ar 30 SLM UFC 1000
O2 5 SLM UFC 1000
Connected load: ~ 96 kVA at 480 VAC
Supply voltage: 440/480 VAC, 60 Hz, 3 Phase
1984 vintage.
BRUCE/BTU BDF-4は研究開発から生産に至るまでの操作のために設計された高度で自動化された拡散炉です。拡散炉は、各特有の用途に特有の仕上げ厚さの固体表面を作成するために使用されます。BTU BDF-4の特別な設計と構成は、拡散、加熱、冷却、およびその他のプロセスの多数の制御ステップを必要とする生産シーケンスに特に適しています。BRUCE BDF-4は2000°Cまでの温度を均等に配るように設計されている真空によって密封される部屋を特色にします。この分布により、毎回最適なプロセス結果が得られます。さらに、フロー、温度、圧力などの複数のプロセス変数を測定するための統合計装が含まれており、反復可能な結果の自動制御機能を提供します。BDF-4はアルミニウム、ステンレス鋼、タングステンを含む基板の範囲を処理するように設計されました。特に、拡散炉は真空または酸素雰囲気を使用して不純物を低減するように設計されています。また、セラミック基板や半導体基板を効率的に加工できるように設計されており、様々な用途に適しています。BRUCE/BTU BDF-4には、顧客の生産要件に対応するためのカスタマイズされたアクセサリーも多数あります。この炉は磁気クランプを備えているため、基板を容易に固定でき、製造工程の均一性と信頼性が向上します。さらに、この炉には、違反防止のためのパススルードアや安全観覧のためのダブルイメージングクォーツウィンドウなどの安全機能が含まれています。最後に、BTU BDF-4は21 CFR Part 11準拠のGUIソフトウェアを備えたPLC/PCシステムによって供給されます。このソフトウェアは、標準プロセスを簡素化し、より複雑な生産シーケンスを自動化するように設計されています。これにより、生産効率と再現性が向上します。さらに、PLC/PCシステムには、複数の国のユーザーを容易にするための複数の言語オプションがあります。全体として、BRUCE BDF-4は高度で自動化された拡散炉であり、プロセスの均一性とさまざまな基板に対する制御を提供します。その統合された計装、カスタマイズ可能なアクセサリ、およびPLC/PCシステムは、拡散プロセスを包括的に制御し、生産効率を向上させるのに役立ちます。
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