中古 BRUCE BDF-41 #293764077 を販売中
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BRUCE BDF-41は、さまざまな半導体製造プロセスで使用される高温高圧化学蒸着（CVD）用に設計された拡散炉およびアクセサリーです。このシステムは、最大0.2Mbar°Cの圧縮能力と最大1000°Cの温度を備えているため、熱酸化物、LPCVD、酸化物エッチング、窒化ケイ素プロセスなどのプロセスに適しています。単位はステンレス鋼の部屋および熱い熱量測定の水素バーナーを含んでいます。チャンバーは最大4インチウェーハに対応でき、実験用のモジュール設計を備え、ワイヤレスフィルタリングと冷却機能を備えています。BDF-41の高圧拡散機能は、調整可能な圧力ゲートマシンを追加することでさらに強化することができます。温度制御を強化するために、BRUCE BDF-41には、制御可能な高温空気送風機と加熱された排気ツールが含まれています。この資産は、高温プロセスのための安定した雰囲気を保証します。BDF-41には、ガスの流れを調節するためのマスフローコントローラ、複数のガス源のためのガスマニホールド、および漏れ検出器も内蔵しています。BRUCE BDF-41の安全システムは、温度と圧力の厳密な制御を提供し、危険な条件から労働者を保護するように設計されています。この炉には、過熱監視や中断などの温度制御機能、および過圧検出および中断モデルが含まれています。BDF-41は精密モデリングの適用に使用することができる信頼でき、有効な拡散の炉の装置および付属品です。その便利な設計、操作性、安全性の特徴は、あらゆる製造施設で便利なツールになります。
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