中古 BLACKSTONE / NEY MACS-25-US-HIT #9399118 を販売中

BLACKSTONE/NEY MACS-25-US-HITは、半導体製造用の高度なハイスループット拡散炉とその付属品です。この炉は、シングルウェーハ大気圧力化学蒸着（APCVD）ケミカルデリバリー装置と、一貫した信頼性と再現性のあるプロセス結果を提供する先進的な材料監視システムと統合されています。NEY MACS-25-US-HITは完全な温度の均等性および堅い温度プロセス制御を達成できる高温拡散炉です。100ウェーハバッチローディングユニットと25°C〜1250°Cの温度範囲を備えています。動的プロセス制御により、窒素と酸素の供給がプロセス全体にわたって最適化されます。このマシンを使用すると、拡散プログラムは冷却時間を最小限に抑えて繰り返し実行できるため、トータルサイクルタイムを短縮できます。炉はまたAPCVDの配達用具と統合されます。このアセットにより、化学反応性を可変的に制御できるだけでなく、ウェーハ表面全体への化学供給を簡素化することができます。化学配達モデルは蒸着プロセスの均等性そして安定性を提供する高精度のスプレーヤーの頭部と合わせられます。さらに、圧力および速度調整システムは、拡散プロセスの安定性を確保するのに役立ちます。プロセス監視の観点から、BLACKSTONE MACS-25-US-HITには、温度、圧力、応力、RF監視、マスフローコントローラなど、さまざまなプロセスモニタが装備されています。これらのプロセスモニタは、各サイクルまたは複数のサイクル間の温度および圧力設定を調整するために使用される動作データを提供します。その結果、プロセスの安定性と再現性が向上します。最後に、MACS-25-US-HITはまた、安全機能の包括的なセットが装備されています。圧力作動型シャッターは、メンテナンスおよびオープンバックフィル期間中に炉を隔離するように設計されていますが、電流に敏感なリレーは電気ショックのリスクを低減します。また、ユーザーと環境を保護する手段として、高温警報器、火災安全装置、低圧スイッチが含まれています。したがって、BLACKSTONE/NEY MACS-25-US-HITは、拡散処理を必要とする半導体製造アプリケーション向けに、信頼性が高く、高効率で安全なプロセス制御ソリューションを提供します。高温の均一性と堅牢な温度制御、高度な監視システムと安全機能を組み合わせることで、正確で再現性のあるプロセス結果を費用対効果の高い方法で達成するための理想的な選択肢となります。