中古 BLACKSTONE / NEY MACS-25-US-HIT #9227403 を販売中

BLACKSTONE/NEY MACS-25-US-HITは、精密で均一な熱分布を提供する集熱素子を備えた拡散炉です。加熱チャンバー、炉の制御ユニット、アクセサリーで構成されています。加熱されたチャンバーは、最大25の標準サイズのキャリアを保持するように設計されています。これらのキャリアは、スパッタリング、PECVD、イオン注入、急速なサーマルアニーリング、および酸化プロセスのために構成することができます。炉の制御装置はすべての発熱体の精密な制御を可能にします。± 1°Cの精度を兼ね備えた4つのコンポーネント温度コントローラを備えています。制御ユニットには、プロセスの均一性を向上させるために温度プロファイルを調整するアダプティブ予測コントローラ機能も含まれています。さらに、ユーザーインターフェイスは簡単なパラメータ設定と監視を可能にし、最大20の個別のレシピをログに記録できます。NEY MACS-25-US-HITのアクセサリーには、高真空環境を作るために使用される高速ターボ分子ポンプが含まれています。この可変速度ポンプは、最大10-6 torrの真空を達成することができます。さらに、システムには、暖房環境の汚染を防ぐために揮発性をキャプチャし、保存するコールドトラップが含まれています。容易な取付けを促進するためには、BLACKSTONEのMACS-25-US-HITはプロセスコントローラ、高速ターボ分子ポンプ、コールドトラップ、キャリアのサポート、ガスライン、および電源接続を含むすべての必要な部品と渡されます。また、キャリアインサートと取り外しを簡素化するための機械的リフト機構を備えています。MACS-25-US-HIT拡散炉は、半導体産業のさまざまな用途に最適な信頼性と汎用性の高いソリューションです。その精密な温度制御と均一な加熱機能により、スパッタリング、PECVD、イオン注入、急速なサーマルアニーリング、酸化などの複雑なプロセスに適しています。また、高速ターボ分子ポンプとコールドトラップを備え、高真空で汚染のない環境を作り出します。直感的なユーザーインターフェイスと便利なアクセサリーは、効率的で簡単な操作を促進します。