中古 BENEQ TFS 200-159 #293683751 を販売中
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ID: 293683751
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2012
Thermal Atomic Layer Deposition (ALD) system, 8"
(2) Heated source bottles
(4) Ambient temperature source bottles
Gases: O3, H2O, H2O2
Ozone generator
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Dry pump
Pumping speed: 100 m³/HR
No load lock
PC
2012 vintage.
BENEQ TFS 200-159は制御された大気のいろいろな材料の高温処理のために設計されている最先端の拡散炉です。この多目的な炉には、精密で効率的な熱処理能力を求める研究者、研究室、業界の専門家に最適な、さまざまな高度な機能とアクセサリーが装備されています。TFS 200-159の中心に処理部屋中の均一な暖房を提供する良質の発熱体があります。これにより、材料の一貫した信頼性の高い熱処理が可能になり、再現性の高い結果と高品質の出力が保証されます。発熱体は、幅広い材料加工用途に必要な極端な温度に耐えることができる高温耐性材料から構成されています。BENEQ TFS 200-159は、ユーザーが厳密な許容範囲内で炉の温度を正確に調整できる高度な温度制御システムを備えています。これにより、材料が最適な結果に必要な正確な温度で処理されると同時に、過熱または熱損傷から敏感な材料を保護することができます。温度制御システムは非常に応答性が高く、急速な加熱と冷却サイクルが様々な処理ニーズに対応できます。精密な温度制御に加えて、TFS 200-159は高度なガス流量制御システムを備えており、ユーザーは処理チャンバ内で特定のガス大気を作成および維持することができます。ドーピングやアニーリングプロセスなど、周囲の大気を正確に制御する必要がある材料加工アプリケーションには不可欠です。ガスフロー制御システムは、信頼性と再現性の高い結果を得るための正確で一貫したガスフローを提供するように設計されています。BENEQ TFS 200-159には、運転中のオペレータの保護と機器の完全性を確保するためのさまざまな安全機能が装備されています。これには、過熱保護メカニズム、ガス漏れ検出システム、および事故を防止し、炉の安全な動作を確保するための緊急シャットダウンプロトコルが含まれます。これらの安全機能は、機器の安全性とコンプライアンスに関する業界最高水準を満たすように設計されています。TFS 200-159の汎用性と機能性を高めるために、さまざまなアクセサリを使用して機能を拡張できます。これらのアクセサリーには、カスタムデザインのプロセスチューブ、サンプルホルダー、ガス配送システム、および特定の材料加工要件に合わせた監視機器が含まれます。これにより、ユーザーは炉のセットアップをカスタマイズして、幅広い用途や研究ニーズに対応することができます。全体的に、BENEQ TFS 200-159は、材料の信頼性と効率的な熱処理のための精密な温度制御、高度なガスフロー管理、および包括的な安全機能を提供する最先端の拡散炉です。TFS 200-159は、高品質の構造、先進的な機能、汎用性の高いアクセサリーを備えており、さまざまな材料加工アプリケーション向けの堅牢で信頼性の高い炉を求める研究者や業界の専門家に最適です。
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