中古 BEIJING L42500-4 / ZM #9145271 を販売中

BEIJING L42500-4/ZMは、大規模なシリコンウェーハの開発に使用される高効率拡散炉およびアクセサリーです。このタイプの炉は、ウェーハなどの半導体部品の量産に最適です。L42500-4/ZMは垂直方向および絶縁された水晶管と設計されています、改善された温度の均等性および制御を可能にします。600 Wの電力範囲と1000°C-1350°Cの温度範囲を備えています。この炉には、冷却時間を短縮し、ウェーハや構造物の不完全さを低減するための高速冷却システムが装備されています。BEIJING L42500-4/ZMは高いユーザビリティを備え、1時間あたり最大300mmのウェーハ処理が可能です。水平ローディング/アンロード自動ウェーハマニピュレータ（LAWM）が付属しており、ウェーハの自動ローディング/アンロードが可能です。全体の拡散周期は容易な操作のためのタッチ画面の表示を含んでいる主要なコントローラーによって制御され、監視されます。L42500-4/ZMは、ホウ素、リン、ドーパントをシリコンウェーハに拡散させ、後に半導体製造プロセスで使用されます。BEIJING L42500-4/ZMは、さまざまな安全機能を備えています。過熱制御システムは、安全範囲内の温度を自動的に制限することにより、安全を保証します。さらに、レースコンデンサーシステムは、拡散ガスの不純物を低減し、不純物が炉に入るのを防ぎます。L42500-4/ZMは良質の拡散炉で、一貫した、信頼できる性能を提供するように設計されています。全体として、BEIJING L42500-4/ZM拡散炉とアクセサリーは、半導体ウェーハと部品の量産に最適です。それは高性能のために設計され、安全特徴の範囲が装備されています。1時間あたり最大300mmのウエハ加工が可能で、1000°C〜1350°Cの温度範囲が印象的です。L42500-4/ZMはウェーハの自動ロード/アンロード機能も備えており、利便性を高めています。